CVD SiC bevonatú fűtőelem

A CVD SiC bevonatú fűtőelem központi szerepet játszik a PVD kemencében lévő anyagok melegítésében (párolgásos leválasztás). A VeTek Semiconductor a vezető CVD SiC bevonatú fűtőelem gyártó Kínában. Fejlett CVD bevonási képességekkel rendelkezünk, és testreszabott CVD SiC bevonat termékeket tudunk biztosítani. A VeTek Semiconductor alig várja, hogy partnere lehessen a SiC bevonatú fűtőelemek területén.

Kérdés küldése

termékleírás

A CVD SiC bevonatú fűtőelemet főleg PVD (fizikai gőzleválasztás) berendezésekben használják. A párolgási folyamat során az anyagot felmelegítik, hogy párolgást vagy porlasztást érjenek el, és végül egyenletes vékony film képződik a hordozón.

Ⅰ.Konkrét alkalmazás

Vékonyréteg-lerakódás: CVD SiC bevonatú fűtőelemet használnak párolgási forrásban vagy porlasztó forrásban. Melegítéssel az elem magas hőmérsékletre melegíti fel a leválasztandó anyagot, így annak atomjai vagy molekulái elválik az anyag felületétől, ezáltal gőz vagy plazma keletkezik. Fűtőelem alapú SiC bevonatunk néhány fém- vagy kerámiaanyagot közvetlenül is felmelegíthet, hogy elpárologtassa vagy szublimálja azokat vákuumkörnyezetben, és anyagforrásként használja fel a PVD-folyamatban. Mivel a szerkezet koncentrikus hornyokkal rendelkezik, jobban tudja szabályozni az áramutat és a hőeloszlást, hogy biztosítsa a fűtés egyenletességét.

Schematic diagram of the evaporation PVD process

A bepárlási PVD folyamat sematikus diagramja

Ⅱ.Működési elv

Ellenállásos fűtés, amikor az áram áthalad a szilikon bevonatú fűtőelem ellenállási útján, Joule-hő keletkezik, ezzel elérve a fűtés hatását. A koncentrikus szerkezet lehetővé teszi az áram egyenletes elosztását. Az elemhez általában egy hőmérséklet-szabályozó eszköz csatlakozik a hőmérséklet figyelésére és beállítására.

Ⅲ.Anyag és szerkezeti tervezés

A CVD SiC bevonatú fűtőelem nagy tisztaságú grafitból és SiC bevonatból készül, hogy megbirkózzon a magas hőmérsékletű környezettel. Magát a nagy tisztaságú grafitot széles körben használják hőtér anyagaként. Miután a grafit felületére CVD-módszerrel bevonatréteget visznek fel, tovább javul a magas hőmérsékleti stabilitás, a korrózióállóság, a hőhatékonyság és egyéb jellemzői.

A koncentrikus hornyok kialakítása lehetővé teszi, hogy az áram egyenletes hurkot képezzen a lemez felületén. Egyenletes hőeloszlást ér el, bizonyos területeken elkerüli a koncentráció okozta helyi túlmelegedést, csökkenti az áramkoncentráció okozta további hőveszteséget, ezáltal javítja a fűtés hatékonyságát.

A CVD SiC bevonatú fűtőelem két lábból és egy testből áll. Mindegyik lábnak van egy menete, amely a tápegységhez csatlakozik. A VeTek Semiconductor egyrészes vagy osztott alkatrészeket tud készíteni, vagyis a lábakat és a testet külön-külön készítik el, majd szerelik össze. Nem számít, milyen követelményeket támaszt a CVD SiC bevonatú fűtőberendezéssel szemben, kérjük, forduljon hozzánk. A VeTekSemi biztosítani tudja a szükséges termékeket.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Tipikus érték
Kristályszerkezet	FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség	3,21 g/cm³
Keménység	2500 Vickers keménység (500g terhelés)
szemcseméret	2~10μm
Kémiai tisztaság	99,99995%
Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
Hajlító szilárdság	415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1