A maratási folyamat problémái

RézkarcA technológia a félvezetőgyártási folyamat egyik kulcsfontosságú lépése, amelyet arra használnak, hogy bizonyos anyagokat távolítsanak el az ostyáról, hogy áramköri mintát alakítsanak ki. A száraz maratási folyamat során azonban a mérnökök gyakran találkoznak olyan problémákkal, mint a terhelési hatás, a mikrobarázdás hatás és a töltési hatás, amelyek közvetlenül befolyásolják a végtermék minőségét és teljesítményét.

 Ⅰ Betöltési hatás

A terhelési hatás azt a jelenséget jelenti, hogy amikor a maratási terület növekszik vagy a maratási mélység növekszik a száraz maratás során, a maratási sebesség csökken, vagy a maratás egyenetlen a reaktív plazma elégtelen utánpótlása miatt. Ez a hatás általában a maratási rendszer jellemzőihez kapcsolódik, mint például a plazma sűrűsége és egyenletessége, a vákuum mértéke stb., és széles körben jelen van a különböző reaktív ionos maratások során.

 •Javítja a plazma sűrűségét és egyenletességét: A plazmaforrás kialakításának optimalizálásával, például hatékonyabb rádiófrekvenciás teljesítmény vagy magnetronporlasztási technológia használatával nagyobb sűrűségű és egyenletesebb eloszlású plazma állítható elő.

 •Állítsa be a reaktív gáz összetételét: Megfelelő mennyiségű segédgáz hozzáadása a reaktív gázhoz javíthatja a plazma egyenletességét és elősegítheti a maratási melléktermékek hatékony kiürülését.

 •Optimalizálja a vákuumrendszert: A vákuumszivattyú szivattyúzási sebességének és hatékonyságának növelése csökkentheti a maratási melléktermékek tartózkodási idejét a kamrában, ezáltal csökkentve a terhelési hatást.

 •Tervezze meg egy ésszerű fotolitográfiai elrendezést: A fotolitográfiai elrendezés kialakításakor figyelembe kell venni a minta sűrűségét, hogy elkerüljük a túl sűrű elrendezést a helyi területeken a terhelés hatásának csökkentése érdekében.

 Ⅱ Mikro-árokásó hatás

A mikro-árokásás hatás arra a jelenségre utal, hogy a maratási folyamat során a maratási felületet ferde szögben érő nagyenergiájú részecskék miatt a maratási sebesség az oldalfal közelében nagyobb, mint a középső területen, ami - függőleges letörések az oldalfalon. Ez a jelenség szorosan összefügg a beeső részecskék szögével és az oldalfal lejtésével.

 •Növelje az RF teljesítményt: A rádiófrekvenciás teljesítmény megfelelő növelése növelheti a beeső részecskék energiáját, lehetővé téve számukra, hogy függőlegesebben bombázzák a célfelületet, ezáltal csökkentve az oldalfal maratási sebességének különbségét.

 •Válassza ki a megfelelő maratómaszk anyagát: Egyes anyagok jobban ellenállnak a töltési hatásnak, és csökkentik a mikro-árokásás hatását, amelyet súlyosbít a negatív töltés felhalmozódása a maszkon.

 •Optimalizálja a maratási feltételeket: Az olyan paraméterek finombeállításával, mint a hőmérséklet és a nyomás a maratási folyamat során, hatékonyan szabályozható a maratás szelektivitása és egyenletessége.

 Ⅲ  Töltési effektus

A töltési hatást a maratómaszk szigetelő tulajdonságai okozzák. Ha a plazmában lévő elektronok nem tudnak gyorsan kiszabadulni, a maszk felületén összegyűlnek, és helyi elektromos mezőt alkotnak, zavarják a beeső részecskék útját, és befolyásolják a maratási anizotrópiát, különösen finom szerkezetek maratásakor.

 • Válassza ki a megfelelő maratási maszk anyagokat: Egyes speciálisan kezelt anyagok vagy vezetőképes maszkrétegek hatékonyan csökkenthetik az elektronok aggregációját.

 •Végezzen szakaszos maratást: A maratási folyamat időszakos megszakításával és az elektronoknak elegendő időt adva a kilépéshez, a töltési hatás jelentősen csökkenthető.

 •Állítsa be a maratási környezetet: A gáz összetételének, nyomásának és egyéb körülményeinek megváltoztatása a maratási környezetben javíthatja a plazma stabilitását és csökkentheti a töltési hatás előfordulását.