A VeTek Semiconductor ultratiszta szilícium-karbid bevonat termékek gyártására specializálódott, ezeket a bevonatokat tisztított grafiton, kerámián és tűzálló fém alkatrészeken való felhordásra tervezték.
Nagy tisztaságú bevonataink elsősorban a félvezető- és elektronikai iparban való használatra készültek. Védőrétegként szolgálnak az ostyahordozók, szuszceptorok és fűtőelemek számára, megóvva őket a korrozív és reaktív környezetektől, amelyek olyan folyamatokban fordulnak elő, mint a MOCVD és az EPI. Ezek a folyamatok az ostyafeldolgozás és az eszközgyártás szerves részét képezik. Ezenkívül bevonataink jól alkalmazhatók vákuumkemencékben és mintamelegítésben, ahol nagy vákuum, reaktív és oxigén környezettel találkozhatunk.
A VeTek Semiconductornál átfogó megoldást kínálunk fejlett gépműhelyi képességeinkkel. Ez lehetővé teszi számunkra, hogy az alapelemeket grafitból, kerámiából vagy tűzálló fémekből állítsuk elő, és házon belül vigyük fel a SiC vagy TaC kerámiabevonatokat. Az ügyfelek által szállított alkatrészekhez bevonási szolgáltatásokat is nyújtunk, biztosítva a rugalmasságot a különféle igények kielégítésére.
Szilícium-karbid bevonat termékeinket széles körben használják Si-epitaxiában, SiC-epitaxiában, MOCVD-rendszerben, RTP/RTA-folyamatban, maratási folyamatban, ICP/PSS-maratási folyamatban, különféle LED-típusok folyamatában, beleértve a kék és zöld LED-eket, az UV LED-eket és a mély-UV-t. LED stb., amely az LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI és így tovább berendezésekhez van igazítva.
A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Kristályszerkezet | FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált |
Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
Keménység | 2500 Vickers keménység (500 g terhelés) |
szemcseméret | 2~10μm |
Kémiai tisztaság | 99,99995% |
Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
Hajlító szilárdság | 415 MPa RT 4 pontos |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
Hővezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VeTeK Semiconductor SiC Coating grafit MOCVD fűtőtestet gyárt, amely a MOCVD folyamat kulcsfontosságú eleme. A nagy tisztaságú grafit szubsztrátumon alapuló felületet nagy tisztaságú SiC bevonattal vonják be, hogy kiváló magas hőmérsékleti stabilitást és korrózióállóságot biztosítsanak. A VeTeK Semiconductor SiC Coating grafit MOCVD fűtőberendezése kiváló minőségű és magasan testreszabott termékszolgáltatásokkal ideális választás a MOCVD folyamat stabilitásának és vékonyréteg-leválasztási minőségének biztosítására. A VeTeK Semiconductor alig várja, hogy partnere lehessen.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a SiC bevonat termékek vezető gyártója és szállítója Kínában. A VeTek Semiconductor SiC bevonatú Epi szuszceptorja az iparág legmagasabb minőségi szintjével rendelkezik, többféle epitaxiális növekedési kemencéhez is alkalmas, és magasan testreszabott termékszolgáltatásokat nyújt. A VeTek Semiconductor alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseSiC bevonat A monokristályos szilícium epitaxiális tálca fontos tartozéka a monokristályos szilícium epitaxiális növekedési kemencének, minimális szennyezést és stabil epitaxiális növekedési környezetet biztosítva. A VeTek Semiconductor SiC bevonatú monokristályos szilícium epitaxiális tálcája rendkívül hosszú élettartammal rendelkezik, és számos testreszabási lehetőséget kínál. A VeTek Semiconductor alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor szilárd SiC lapkahordozóját magas hőmérséklet- és korrózióálló környezetekhez tervezték félvezető epitaxiális folyamatokban, és alkalmas minden típusú lapkagyártási folyamathoz, magas tisztasági követelményekkel. A VeTek Semiconductor Kína vezető szelethordozó-szállítója, és alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen a félvezetőiparban.
Olvass továbbKérdés küldéseA MOCVD termékek SiC bevonatú műholdburkolatának vezető gyártója és szállítója Kínában, a Vetek Semiconductor SiC bevonatú MOCVD-termékek műholdburkolata rendkívül magas hőmérséklet-állósággal, kiváló oxidáció- és korrózióállósággal rendelkezik, és pótolhatatlan szerepet játszik a kiváló minőségű epitaxia biztosításában. növekedés az ostyákon. Üdvözöljük további kérdéseit.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor Kína vezető félvezető berendezések gyártója, valamint a szilárd szilícium-karbamid lemez alakú zuhanyfej professzionális gyártója és szállítója. A tárcsa alakú zuhanyfejünket széles körben használják vékonyréteg-leválasztási gyártásban, például CVD-eljárásban, hogy biztosítsák a reakciógáz egyenletes eloszlását, és a CVD-kemencék egyik fő összetevője.
Olvass továbbKérdés küldése