Tömör SiC Korong alakú zuhanyfej

A szilícium-karbid korong alakú zuhanyfej szerepe a CVD-folyamatban az, hogy a reakciógázt egyenletesen elosztja a lerakódási terület felett, így a gáz egyenletesen eloszlik a reaktorban, így lapos és egyenletes filmet kapunk.

A Solid SiC zuhanyfej a CVD kemence tetején vagy a gázbemenet közelében található. A reakciógáz a zuhanyfejen elhelyezett lyukakon keresztül jut be a korong alakú szerkezetbe, és szétszóródik a zuhanyfej felületén. A többcsatornás kialakítás és az egyenletesen elosztott kimenetek révén a reakciógáz egyenletesen áramolhat a reaktor teljes területére, elkerülve a koncentrációt vagy a turbulenciát, és biztosítja a hordozóra lerakódott rétegvastagság állandóságát.

Ugyanakkor a Semiconductor Disc alakú zuhanyfej szerkezete diffúziós hatással is rendelkezik, amely hatékonyan csökkentheti a gáz áramlási sebességét, így egyenletesen oszlik el a fúvóka kimeneténél, és csökkenti a helyi gáz hatását. áramlási változások a lerakódási hatás hatására. Segít elkerülni a közvetlen gázhatást az aljzatra, és megelőzi az egyenetlen lerakódás problémáját.

Anyagok szempontjából a Solid SiC gázzuhanyfej magas hőmérsékletnek ellenálló, korrózióálló és nagy szilárdságú, nagyon nagy stabilitású szilárd SiC anyagból készül. Hosszú ideig stabilan működik a CVD kemencében, és hosszú élettartammal rendelkezik.

A VeTek Semiconductor magas színvonalú, személyre szabott szolgáltatásokat nyújt. A Solid SiC tárcsa alakú zuhanyfej alakja és lyukak elrendezése rugalmasan beállítható az ügyfél folyamatkövetelményei szerint, hogy alkalmazkodjon a különböző gáztípusokhoz, áramlási sebességekhez és lerakódási anyagokhoz. Különböző méretű reaktorokhoz vagy szubsztrátumméretekhez a különböző átmérőjű és lyukelosztású tárcsa alakú zuhanyfejek testreszabhatók a gázelosztási hatás optimalizálása érdekében.

A VeTek Semiconductor kiforrott eljárásokkal és fejlett technológiával rendelkezik a Solid SiC Semiconductor zuhanyfej termékekhez, amelyek nagyszámú ügyfelet segítenek abban, hogy folyamatos fejlődést érjenek el a CVD-folyamatok terén. A VeTek Semiconductor alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.

Szilárd SiC fizikai tulajdonságai

VeTek SemiconductorSzilárd SiC tárcsa alakú zuhanyfej gyártó műhelyek