> Termékek > Tantál-karbid bevonat

Termékek

új termékek

Kína Tantál-karbid bevonat Gyártó, szállító, gyár

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 minősítést kapott, a VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTantál-karbid bevonat hibagyűrű, TaC bevonatú elterelő gyűrű, TaC bevonatú félhold részek, tantál-karbid bevonatú bolygóforgató tárcsa (Aixtron G10), TaC bevonatú tégely; TaC bevonatú gyűrűk; TaC bevonatú porózus grafit; Tantál-karbid bevonat grafit szuszceptor; TaC bevonatú vezetőgyűrű; TaC tantál-karbid bevonatú lemez; TaC bevonatú ostya szuszceptor; TaC bevonógyűrű; TaC bevonat grafit burkolat; TaC bevonatú darabstb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-os olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt is felkeltette a figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás folyamat. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

Tantál-karbid bevonatú porózus grafit

A tantál-karbid bevonatú porózus grafit nélkülözhetetlen termék a félvezető-feldolgozási folyamatban, különösen a SIC kristálynövekedési folyamatban. A folyamatos kutatás-fejlesztési beruházások és technológiai fejlesztések után a VeTek Semiconductor TaC bevonatú porózus grafit termékminősége nagy dicséretet kapott az európai és amerikai vásárlók részéről. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor

A CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor a MOCVD planetáris reaktor egyik központi eleme. A CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor révén a nagy korong kering és a kis korong forog, és a vízszintes áramlási modellt kiterjesztik a többchipes gépekre is, így rendelkezik mind a kiváló minőségű epitaxiális hullámhossz-egyenletesség-kezeléssel, mind a hibaoptimalizálással. -chip gépek és a többchipes gépek gyártási költségelőnyei. A VeTek Semiconductor magasan testreszabott CVD TaC-t tud nyújtani az ügyfeleknek bevonat planetáris SiC epitaxiális szuszceptor. Ha Ön is szeretne olyan bolygórendszerű MOCVD kemencét készíteni, mint az Aixtron, gyere el hozzánk!

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonatú gyűrű

A TaC bevonatú gyűrűs termékek vezető gyártója és szállítója Kínában, a VeTek Semiconductor a különböző TaC bevonattermékek kutatás-fejlesztésére és gyártására összpontosít. A TaC Coating termékek fő vásárlóiként az európai és amerikai gyártók nagy dicséretben részesítették bevonó termékeinket. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

GaN epitaxia vevő

A VeTek Semiconductor egy kínai vállalat, amely a GaN Epitaxy szuszceptor világszínvonalú gyártója és szállítója. Hosszú ideje dolgozunk a félvezetőiparban, mint például a szilícium-karbid bevonatok és a GaN Epitaxy szuszceptor. Kiváló termékeket és kedvező árakat tudunk biztosítani Önnek. A VeTek Semiconductor már alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen.

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonatú ostya szuszceptor

Az eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor egy tantál-karbiddal bevont grafittálca a szilícium-karbid epitaxiális növekedéséhez, a lapka minőségének és teljesítményének javítása érdekében. A VeTek-et fejlett bevonattechnológiája és tartós megoldásai miatt választották ki, amelyek kiváló SiC epitaxiás eredményeket és meghosszabbított szuszceptor élettartamot biztosítanak. Várjuk további kérdéseit.

Olvass tovább Kérdés küldése

TaC bevonatvezető gyűrűk

A TaC Coating Guide Rings termékek vezető kínai gyártójaként a VeTek Semiconductor TaC bevonatú vezetőgyűrűk fontos összetevői a MOCVD berendezésekben, biztosítva a pontos és stabil gázszállítást az epitaxiális növekedés során, és nélkülözhetetlen anyagok a félvezető epitaxiális növekedésében. Üdvözöljük, hogy konzultáljon velünk.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 2 3 4 5...8 >

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tantál-karbid bevonat terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.