itthon > hírek > Ipari hírek

Chipgyártás: A MOSFET folyamatfolyamata

2024-07-31

A chipgyártási folyamat magában foglalja a fotolitográfiát,rézkarc, diffúzió, vékony film, ionimplantáció, kémiai mechanikai polírozás, tisztítás stb. Ez a cikk nagyjából elmagyarázza, hogyan integrálják ezeket a folyamatokat egymás után a MOSFET gyártásához.


1.Először van aszubsztrátakár 99,9999999%-os szilíciumtisztasággal.




2. Növesszen egy réteg oxidfilmet a szilíciumkristály hordozóra.



3. Egyenletesen fújja be a fotoreziszt.



4. A fotolitográfiát egy fotomaszkon keresztül hajtják végre, hogy a fotomaszkon lévő mintát átvigyék a fotorezisztre.



5. A fényérzékeny területen lévő fotoreziszt az előhívás után lemosódik.




6. Maratással maratja le azt az oxidfilmet, amelyet nem takar a fotoreziszt, hogy a fotolitográfiás minta átkerüljön aostya.



7. Tisztítsa meg és távolítsa el a felesleges fotorezisztet.



8. Vigyen fel egy másik hígítótoxid film. Ezt követően a fenti fotolitográfiával és maratással csak az oxidfilm marad meg a kapu területén.



9. Növelj rá egy réteg poliszilíciumot



10. A 7. lépéshez hasonlóan használjon fotolitográfiát és maratást, hogy csak a poliszilícium maradjon a kapu-oxid rétegen.



11. Fedje le az oxidréteget és a kaput fotolitográfiás tisztítással úgy, hogy az egész ostyaion beültetett, és lesz forrás és lefolyó.




12. Növesztessünk egy réteg szigetelő fóliát az ostyára.



13. Fotolitográfiával és maratással maratja le a forrás, a kapu és a lefolyó érintkezőnyílásait.



14. Ezután tegyen fémet a maratott területre, hogy vezető fémhuzalok legyenek a forráshoz, a kapuhoz és a lefolyóhoz.



Végül egy komplett MOSFET-et gyártanak különféle eljárások kombinációjával.



Valójában a chip alsó rétege nagyszámú tranzisztorból áll.


MOSFET gyártási rajz, forrás, kapu, lefolyó





Különféle tranzisztorok képeznek logikai kapukat


A logikai kapuk aritmetikai egységeket alkotnak



Végül egy köröm nagyságú chip




X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept