> Termékek > Szilícium-karbid bevonat > Szilícium-karbid epitaxia

Termékek

új termékek

Kína Szilícium-karbid epitaxia Gyártó, szállító, gyár

A kiváló minőségű szilícium-karbid epitaxia elkészítése a fejlett technológiától, valamint a berendezésektől és tartozékoktól függ. Jelenleg a legszélesebb körben használt szilícium-karbid epitaxiás növekedési módszer a kémiai gőzlerakódás (CVD). Előnyei az epitaxiális filmvastagság és az adalékkoncentráció pontos szabályozása, a kevesebb hiba, a mérsékelt növekedési sebesség, az automatikus folyamatszabályozás stb., és megbízható technológia, amelyet sikeresen alkalmaztak a kereskedelemben.

A szilícium-karbid CVD epitaxia általában melegfalú vagy melegfalú CVD-berendezést alkalmaz, amely biztosítja az epitaxiaréteg 4H kristályos SiC folyamatos működését magas növekedési hőmérsékleti körülmények között (1500 ~ 1700 ℃), melegfalú vagy melegfalú CVD-ben, több éves fejlesztés után. kapcsolat a bemeneti levegő áramlási iránya és a szubsztrát felülete között, A reakciókamra felosztható vízszintes szerkezetű reaktorra és függőleges szerkezetű reaktorra.

A SIC epitaxiális kemence minőségének három fő mutatója van, az első az epitaxiális növekedési teljesítmény, beleértve a vastagság egyenletességét, az adalékolás egyenletességét, a hibaarányt és a növekedési sebességet; A második maga a berendezés hőmérsékleti teljesítménye, beleértve a fűtési/hűtési sebességet, a maximális hőmérsékletet, a hőmérséklet egyenletességét; Végül magának a berendezésnek a költséghatékonysága, beleértve egyetlen egység árát és kapacitását.

Háromféle szilícium-karbid epitaxiális növesztő kemence és magtartozékok különbségei

A melegfalú vízszintes CVD (az LPE cég tipikus PE1O6 modellje), a melegfalú planetáris CVD (tipikus Aixtron G5WWC/G10 modell) és a kvázi melegfalú CVD (amelyet a Nuflare cég EPIREVOS6 képvisel) az epitaxiális berendezések főbb műszaki megoldásai, amelyeket megvalósítottak. kereskedelmi alkalmazásokban ebben a szakaszban. A három műszaki eszköznek is megvan a maga sajátossága, és igény szerint választható. Szerkezetük a következőképpen látható:

A megfelelő alapvető összetevők a következők:

(a) Forró fal vízszintes típusú magrész- Halfmoon Parts áll

Lefelé irányuló szigetelés

Fő szigetelő felsőrész

Felső félhold

Felfelé irányuló szigetelés

Átmeneti darab 2

Átmeneti darab 1

Külső levegő fúvóka

Kúpos légzőcső

Külső argon gázfúvóka

Argon gázfúvóka

Ostya tartólemez

Központosító csap

Központi őr

Lefelé bal oldali védőburkolat

Alsó jobb oldali védőburkolat

Előtt bal oldali védőburkolat

Jobb oldali védőburkolat

Oldalfal

Grafit gyűrű

Védő filc

Támogató filc

Kontaktblokk

Gázkimeneti henger

(b) Melegfalú bolygótípus

SiC bevonatú Planetary Disk & TaC bevonatú Planetary Disk

c) Kvázi-termikus fali állvány

Nuflare (Japán): Ez a cég kétkamrás függőleges kemencéket kínál, amelyek hozzájárulnak a termelés növeléséhez. A berendezés nagy sebességű, akár 1000 fordulat/perc fordulatszámmal rendelkezik, ami rendkívül előnyös az epitaxiális egyenletesség szempontjából. Ezen túlmenően légáramlási iránya eltér a többi berendezéstől, függőlegesen lefelé irányul, így minimálisra csökkenti a részecskék képződését és csökkenti annak valószínűségét, hogy részecskecseppek hulljanak az ostyákra. Ehhez a berendezéshez SiC bevonatú grafit alkatrészeket biztosítunk.

A SiC epitaxiális berendezések alkatrészeinek szállítójaként a VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy ügyfeleit kiváló minőségű bevonatelemekkel lássa el a SiC epitaxia sikeres megvalósításának támogatása érdekében.

View as

SiC bevonatú ostyatartó

A VeTek Semiconductor a SiC bevonatú ostyatartó termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. A SiC bevonatú ostyatartó egy ostyatartó a félvezető feldolgozás epitaxiás folyamatához. Ez egy pótolhatatlan eszköz, amely stabilizálja az ostyát és biztosítja az epitaxiális réteg egyenletes növekedését. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

Epi ostyatartó

A VeTek Semiconductor egy professzionális Epi Wafer Holder gyártó és gyár Kínában. Az Epi Wafer Holder egy ostyatartó a félvezető feldolgozás epitaxiás folyamatához. Kulcsfontosságú eszköz az ostya stabilizálásához és az epitaxiális réteg egyenletes növekedésének biztosításához. Széles körben használják epitaxiás berendezésekben, mint például a MOCVD és az LPCVD. Ez egy pótolhatatlan eszköz az epitaxia folyamatában. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

Aixtron Satellite ostyahordozó

Professzionális Aixtron Satellite Wafer Carrier termékgyártóként és innovátorként Kínában, a VeTek Semiconductor Aixtron Satellite Wafer Carrier egy AIXTRON berendezésekben használt ostyahordozó, amelyet főként a félvezető feldolgozás MOCVD folyamataiban használnak, és különösen alkalmas magas hőmérsékleten és nagy pontossággal. félvezető feldolgozási folyamatok. A hordozó stabil ostyatámasztást és egyenletes filmlerakódást biztosít a MOCVD epitaxiális növekedése során, ami elengedhetetlen a réteglerakódási folyamathoz. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

LPE Halfmoon SiC EPI reaktor

A VeTek Semiconductor egy professzionális LPE Halfmoon SiC EPI Reactor termékgyártó, innovátor és vezető Kínában. Az LPE Halfmoon SiC EPI Reactor egy olyan eszköz, amelyet kifejezetten kiváló minőségű szilícium-karbid (SiC) epitaxiális rétegek előállítására terveztek, főként a félvezetőiparban. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy vezető technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára, és üdvözli további megkereséseit.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD SiC bevonatú mennyezet

Professzionális CVD SiC bevonatú mennyezetgyártóként és beszállítóként Kínában, a VeTek Semiconductor CVD SiC bevonatú mennyezete kiváló tulajdonságokkal rendelkezik, mint például a magas hőmérséklet-állóság, a korrózióállóság, a nagy keménység és az alacsony hőtágulási együttható, így ideális anyagválasztás a félvezetőgyártásban. Várjuk a további együttműködést Önnel.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD SiC grafit henger

A Vetek Semiconductor CVD SiC grafithengere kulcsfontosságú a félvezető berendezésekben, védőpajzsként szolgál a reaktorokban, hogy megóvja a belső alkatrészeket magas hőmérsékleten és nyomáson. Hatékonyan véd a vegyszerek és az extrém hőhatások ellen, megőrzi a berendezés épségét. Kivételes kopás- és korrózióállóságával hosszú élettartamot és stabilitást biztosít kihívásokkal teli környezetben. Ezeknek a burkolatoknak a használata javítja a félvezető eszközök teljesítményét, meghosszabbítja az élettartamot, valamint mérsékli a karbantartási igényeket és a károsodási kockázatokat.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 2 3 >

Mint professzionális Szilícium-karbid epitaxia gyártó és beszállító Kínában, saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Szilícium-karbid epitaxia terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.