> Termékek > Szilícium-karbid bevonat > Szilícium-karbid epitaxia

Termékek

új termékek

Kína Szilícium-karbid epitaxia Gyártó, szállító, gyár

A kiváló minőségű szilícium-karbid epitaxia elkészítése a fejlett technológiától, valamint a berendezésektől és tartozékoktól függ. Jelenleg a legszélesebb körben használt szilícium-karbid epitaxiás növekedési módszer a kémiai gőzlerakódás (CVD). Előnyei az epitaxiális filmvastagság és az adalékkoncentráció pontos szabályozása, a kevesebb hiba, a mérsékelt növekedési sebesség, az automatikus folyamatszabályozás stb., és megbízható technológia, amelyet sikeresen alkalmaztak a kereskedelemben.

A szilícium-karbid CVD epitaxia általában melegfalú vagy melegfalú CVD-berendezést alkalmaz, amely biztosítja az epitaxiaréteg 4H kristályos SiC folyamatos működését magas növekedési hőmérsékleti körülmények között (1500 ~ 1700 ℃), melegfalú vagy melegfalú CVD-ben, több éves fejlesztés után. kapcsolat a bemeneti levegő áramlási iránya és a szubsztrát felülete között, A reakciókamra felosztható vízszintes szerkezetű reaktorra és függőleges szerkezetű reaktorra.

A SIC epitaxiális kemence minőségének három fő mutatója van, az első az epitaxiális növekedési teljesítmény, beleértve a vastagság egyenletességét, az adalékolás egyenletességét, a hibaarányt és a növekedési sebességet; A második maga a berendezés hőmérsékleti teljesítménye, beleértve a fűtési/hűtési sebességet, a maximális hőmérsékletet, a hőmérséklet egyenletességét; Végül magának a berendezésnek a költséghatékonysága, beleértve egyetlen egység árát és kapacitását.

Háromféle szilícium-karbid epitaxiális növesztő kemence és magtartozékok különbségei

A melegfalú vízszintes CVD (az LPE cég tipikus PE1O6 modellje), a melegfalú planetáris CVD (tipikus Aixtron G5WWC/G10 modell) és a kvázi melegfalú CVD (amelyet a Nuflare cég EPIREVOS6 képvisel) az epitaxiális berendezések főbb műszaki megoldásai, amelyeket megvalósítottak. kereskedelmi alkalmazásokban ebben a szakaszban. A három műszaki eszköznek is megvan a maga sajátossága, és igény szerint választható. Szerkezetük a következőképpen látható:

A megfelelő alapvető összetevők a következők:

(a) Forró fal vízszintes típusú magrész- Halfmoon Parts áll

Lefelé irányuló szigetelés

Fő szigetelő felsőrész

Felső félhold

Felfelé irányuló szigetelés

Átmeneti darab 2

Átmeneti darab 1

Külső levegő fúvóka

Kúpos légzőcső

Külső argon gázfúvóka

Argon gázfúvóka

Ostya tartólemez

Központosító csap

Központi őr

Lefelé bal oldali védőburkolat

Alsó jobb oldali védőburkolat

Előtt bal oldali védőburkolat

Jobb oldali védőburkolat

Oldalfal

Grafit gyűrű

Védő filc

Támogató filc

Kontaktblokk

Gázkimeneti henger

(b) Melegfalú bolygótípus

SiC bevonatú Planetary Disk & TaC bevonatú Planetary Disk

c) Kvázi-termikus fali állvány

Nuflare (Japán): Ez a cég kétkamrás függőleges kemencéket kínál, amelyek hozzájárulnak a termelés növeléséhez. A berendezés nagy sebességű, akár 1000 fordulat/perc fordulatszámmal rendelkezik, ami rendkívül előnyös az epitaxiális egyenletesség szempontjából. Ezen túlmenően légáramlási iránya eltér a többi berendezéstől, függőlegesen lefelé irányul, így minimálisra csökkenti a részecskék képződését és csökkenti annak valószínűségét, hogy részecskecseppek hulljanak az ostyákra. Ehhez a berendezéshez SiC bevonatú grafit alkatrészeket biztosítunk.

A SiC epitaxiális berendezések alkatrészeinek szállítójaként a VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy ügyfeleit kiváló minőségű bevonatelemekkel lássa el a SiC epitaxia sikeres megvalósításának támogatása érdekében.

View as

SiC bevonat bemeneti gyűrű

A Vetek Semiconductor kiválóan működik az ügyfelekkel való szoros együttműködésben, hogy egyedi igényekre szabott SiC bevonat bemeneti gyűrűt készítsen. Ezek a SiC bevonat bemeneti gyűrűk aprólékosan tervezték különféle alkalmazásokhoz, mint például a CVD SiC berendezések és a szilícium-karbid epitaxia. Személyre szabott SiC bevonat bemeneti gyűrűs megoldásokért ne habozzon, forduljon a Vetek Semiconductorhoz személyre szabott segítségért.

Olvass tovább Kérdés küldése

Előmelegítő gyűrű

A VeTek Semiconductor a kínai SiC bevonatgyártó újítója. A VeTek Semiconductor által biztosított előmelegítő gyűrűt az epitaxiás folyamathoz tervezték. Az egységes szilícium-karbid bevonat és a csúcsminőségű grafit alapanyag, mint nyersanyag biztosítja a konzisztens lerakódást, és javítja az epitaxiális réteg minőségét és egyenletességét. Örömmel várjuk, hogy hosszú távú együttműködést alakítsunk ki Önnel.

Olvass tovább Kérdés küldése

Ostya emelőcsap

A VeTek Semiconductor egy vezető EPI Wafer Lift Pin gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk grafit felületének SiC bevonattal. EPI Wafer Lift Pin-t kínálunk az Epi folyamathoz. Kiváló minőségű és versenyképes áron, üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat Kínában.

Olvass tovább Kérdés küldése

Aixtron G5 MOCVD szuszceptorok

A VeTek Semiconductor egy vezető Aixtron G5 MOCVD szuszceptor gyártó és innovátor Kínában. Sok éven át a SiC bevonóanyagokra specializálódtunk. Ez az Aixtron G5 MOCVD Susceptors készlet sokoldalú és hatékony megoldás a félvezetőgyártáshoz optimális méretével, kompatibilitásával és nagy termelékenységével. Üdvözöljük, érdeklődjön tőlünk.

Olvass tovább Kérdés küldése

GaN epitaxiális grafit szuszceptor a G5-höz

A VeTek Semiconductor egy professzionális gyártó és beszállító, amely kiváló minőségű GaN epitaxiális grafit szuszceptort biztosít a G5 számára. hosszú távú és stabil partneri kapcsolatokat alakítottunk ki számos ismert hazai és külföldi céggel, kivívva ügyfeleink bizalmát és tiszteletét.

Olvass tovább Kérdés küldése

Ultra tiszta grafit alsó félhold

A VeTek Semiconductor a személyre szabott Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon vezető szállítója Kínában, sok éve a fejlett anyagokra szakosodott. Az Ultra Pure Graphite Lower Halfmoonunkat kifejezetten SiC epitaxiális berendezésekhez tervezték, kiváló teljesítményt biztosítva. Ultratiszta import grafitból készült, így megbízható és tartós. Látogasson el kínai gyárunkba, hogy első kézből fedezze fel kiváló minőségű Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon termékünket.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 2 3 4 >

Professzionális Szilícium-karbid epitaxia gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Szilícium-karbid epitaxia terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.