Kína Tömör szilícium-karbid Gyártó, szállító, gyár

A VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide fontos kerámiakomponens a plazmamarató berendezésekben, a szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) a maratóberendezés alkatrészei tartalmazzákfókuszáló gyűrűk, gázzuhanyfej, tálca, élgyűrűk stb. A szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) klór- és fluortartalmú maratógázokkal szembeni alacsony reakciókészsége és vezetőképessége miatt ideális anyag plazmamarató berendezések fókuszgyűrűihez és egyéb alkatrészek.

Például a fókuszgyűrű fontos rész, amely az ostyán kívül van elhelyezve, és közvetlenül érintkezik az ostyával, mivel feszültséget ad a gyűrűre a gyűrűn áthaladó plazma fókuszálásához, ezáltal a plazmát az ostyára fókuszálja, hogy javítsa az ostya egyenletességét. feldolgozás. A hagyományos fókuszgyűrű szilikonból, illkvarc, vezetőképes szilícium, mint gyakori fókuszgyűrűs anyag, közel a szilícium lapkák vezetőképességéhez, de hiánya gyenge maratási ellenállás a fluortartalmú plazmában, maratási gépalkatrészek anyagában gyakran használt egy ideig, komoly lesz korróziós jelenség, amely jelentősen csökkenti a termelés hatékonyságát.

Svoltak SiC Focus RingMűködési elv：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszgyűrű összehasonlítása:

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszáló gyűrű összehasonlítása
Tétel	És	CVD SiC
Sűrűség (g/cm³)	2.33	3.21
Sávköz (eV)	1.12	2.3
Hővezetőképesség (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Rugalmassági modulus (GPa)	150	440
Keménység (GPa)	11.4	24.5
Kopás- és korrózióállóság	Szegény	Kiváló

A VeTek Semiconductor fejlett szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alkatrészeket kínál, például SiC fókuszáló gyűrűket a félvezető berendezésekhez. Szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrűink felülmúlják a hagyományos szilíciumot mechanikai szilárdság, vegyszerállóság, hővezető képesség, magas hőmérsékleti tartósság és ionmaratással szembeni ellenállás tekintetében.

ÉsC fókuszáló gyűrűink fő jellemzői a következők::

Nagy sűrűség a csökkentett marási sebességért.

Kiváló szigetelés nagy sávszélességgel.

Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható.

Kiváló mechanikai ütésállóság és rugalmasság.

Magas keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

felhasználásával gyártvaplazmával javított kémiai gőzleválasztás (PECVD)ÉsC fókuszáló gyűrűink megfelelnek a félvezetőgyártás maratási folyamatainak növekvő igényeinek. Úgy tervezték, hogy ellenálljanak a nagyobb plazmateljesítménynek és -energiának, különösen a belső térbenkapacitív csatolású plazma (CCP)rendszerek.

A VeTek Semiconductor SiC fókuszáló gyűrűi kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak a félvezető eszközök gyártásában. Válassza SiC alkatrészeinket a kiváló minőség és hatékonyság érdekében.

View as

Szilárd SiC lapkahordozó

A VeTek Semiconductor szilárd SiC lapkahordozóját magas hőmérséklet- és korrózióálló környezetekhez tervezték félvezető epitaxiális folyamatokban, és alkalmas minden típusú lapkagyártási folyamathoz, magas tisztasági követelményekkel. A VeTek Semiconductor Kína vezető szelethordozó-szállítója, és alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen a félvezetőiparban.

Olvass tovább Kérdés küldése

Tömör SiC Korong alakú zuhanyfej

A VeTek Semiconductor Kína vezető félvezető berendezések gyártója, valamint a szilárd szilícium-karbamid lemez alakú zuhanyfej professzionális gyártója és szállítója. A tárcsa alakú zuhanyfejünket széles körben használják vékonyréteg-leválasztási gyártásban, például CVD-eljárásban, hogy biztosítsák a reakciógáz egyenletes eloszlását, és a CVD-kemencék egyik fő összetevője.

Olvass tovább Kérdés küldése

SiC tömítő alkatrész

Mint fejlett SiC tömítőalkatrész-gyártó és gyár Kínában. A VeTek Semiconducto SiC Sealing Part egy nagy teljesítményű tömítő alkatrész, amelyet széles körben használnak a félvezető-feldolgozásban és más extrém magas hőmérsékletű és nagynyomású eljárásokban. Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

Szilícium-karbid zuhanyfej

A VeTek Semiconductor a szilícium-karbid zuhanyfej termékek vezető gyártója és szállítója Kínában. A SiC zuhanyfej kiváló magas hőmérséklettűrő képességgel, kémiai stabilitással, hővezető képességgel és jó gázelosztási teljesítménnyel rendelkezik, ami egyenletes gázeloszlást és javítja a film minőségét. Ezért általában olyan magas hőmérsékletű eljárásokban használják, mint például a kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) vagy a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD). Üdvözöljük további konzultációján.

Olvass tovább Kérdés küldése

Szilícium-karbid tömítőgyűrű

Mint professzionális szilícium-karbid tömítőgyűrű termékgyártó és gyár Kínában, a VeTek Semiconductor szilícium-karbid tömítőgyűrűt széles körben használják a félvezető-feldolgozó berendezésekben, kiváló hőállósága, korrózióállósága, mechanikai szilárdsága és hővezető képessége miatt. Különösen alkalmas magas hőmérsékletű és reakcióképes gázokat, például CVD-t, PVD-t és plazmamaratot tartalmazó eljárásokhoz, és kulcsfontosságú anyagválasztás a félvezető-gyártási folyamatban. További kérdéseit szívesen fogadjuk.

Olvass tovább Kérdés küldése

CVD SiC blokk SiC kristálynövekedéshez

A VeTek Semiconductor a CVD-SiC ömlesztett források, a CVD SiC bevonatok és a CVD TaC bevonatok kutatására, fejlesztésére és iparosítására összpontosít. A SiC Crystal Growth CVD SiC blokkját példának véve a termékfeldolgozási technológia fejlett, a növekedési sebesség gyors, a magas hőmérséklet-állóság és a korrózióállóság erős. Üdvözöljük érdeklődni.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 2 >

Professzionális Tömör szilícium-karbid gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tömör szilícium-karbid terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.