Kína Tömör szilícium-karbid Gyártó, szállító, gyár

A VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide fontos kerámiakomponens a plazmamarató berendezésekben, a szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) részei a maratóberendezésben például fókuszgyűrűk, gázzuhanyfej, tálca, élgyűrűk stb. szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) klór- és fluortartalmú maratógázokká, ideális anyag plazmamaratási berendezések fókuszgyűrűihez és egyéb alkatrészekhez

Például a fókuszgyűrű fontos rész, amely az ostyán kívül van elhelyezve, és közvetlenül érintkezik az ostyával, mivel a gyűrűre feszültséget kapcsol a gyűrűn áthaladó plazma fókuszálása érdekében, ezáltal a plazma az ostyára fókuszálva javítja az ostya egyenletességét. feldolgozás. A hagyományos fókuszgyűrű szilíciumból vagy kvarcból készül, gyakori fókuszgyűrű anyagként vezetőképes szilícium, közel közel áll a szilícium lapkák vezetőképességéhez, hiánya viszont rossz maratási ellenállás a fluortartalmú plazmában, maratógépalkatrészek gyakran használt anyagokban egy ideig komoly korróziós jelenség lép fel, ami jelentősen csökkenti a termelés hatékonyságát.

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszáló gyűrű összehasonlítása
Tétel	És	CVD SiC
Sűrűség (g/cm3)	2.33	3.21
Sávköz (eV)	1.12	2.3
Hővezetőképesség (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10-6/℃)	2.6	4
Rugalmassági modulus (GPa)	150	440
Keménység (GPa)	11.4	24.5
Kopás- és korrózióállóság	Szegény	Kiváló

A VeTek Semiconductor fejlett szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alkatrészeket kínál, például SiC fókuszáló gyűrűket a félvezető berendezésekhez. Szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrűink felülmúlják a hagyományos szilíciumot mechanikai szilárdság, vegyszerállóság, hővezető képesség, magas hőmérsékleti tartósság és ionmaratással szembeni ellenállás tekintetében.

SiC fókuszáló gyűrűink főbb jellemzői a következők:

Nagy sűrűség a csökkentett marási sebességért.

Kiváló szigetelés nagy sávszélességgel.

Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható.

Kiváló mechanikai ütésállóság és rugalmasság.

Magas keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

A plazmával javított kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD) technikával gyártott SiC fókuszáló gyűrűink megfelelnek a félvezetőgyártás maratási folyamatainak növekvő igényeinek. Úgy tervezték, hogy ellenálljanak a nagyobb plazmateljesítménynek és -energiának, különösen a kapacitív csatolású plazma (CCP) rendszerekben.

A VeTek Semiconductor SiC fókuszáló gyűrűi kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak a félvezető eszközök gyártásában. Válassza SiC alkatrészeinket a kiváló minőség és hatékonyság érdekében.

View as

Szilárd SiC gáz zuhanyfej

A VeTek Semiconductor a vezető szilárd szilícium-karbid gázzuhanyfej gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk a félvezető anyagokra. A VeTek Semiconductor Solid SiC gázzuhanyfej több porozitású kialakítása biztosítja, hogy a CVD-folyamat során keletkező hő eloszlatható legyen. , biztosítva az aljzat egyenletes felmelegedését. Örömmel várjuk, hogy hosszú távon beállíthassuk Önnel Kínában.

Olvass tovább Kérdés küldése

Vegyi gőzleválasztási eljárás Szilárd szilícium-karbonát élgyűrű

A VeTek Semiconductor a szilárd szilícium-karbid élgyűrű kémiai gőzleválasztási folyamatának vezető gyártója és újítója Kínában. Sok éve szakosodunk a félvezető anyagokra. A VeTek Semiconductor szilárd szilícium-karbamid élgyűrű javított maratási egyenletességet és pontos szeletpozícionálást tesz lehetővé, ha elektrosztatikus tokkal együtt használják. , biztosítva a következetes és megbízható maratási eredményeket. Örülünk, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Olvass tovább Kérdés küldése

Tömör szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

A VeTek Semiconductor a vezető szilárd szilícium-karbamid maratású fókuszáló gyűrű gyártója és innovátora Kínában. Sok éve a SiC anyagokra specializálódtunk. A szilárd szilícium-karbidot fókuszáló gyűrű anyagnak választották kiváló termokémiai stabilitása, nagy mechanikai szilárdsága és plazmával szembeni ellenállása miatt. erózió.Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Olvass tovább Kérdés küldése

<1 >

Mint professzionális Tömör szilícium-karbid gyártó és beszállító Kínában, saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tömör szilícium-karbid terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.