Szilárd SiC gáz zuhanyfej

Szilárd SiC gáz zuhanyfej

A VeTek Semiconductor egy integrált vállalat, amely kutatással, gyártással és értékesítéssel foglalkozik. Több mint 20 éves tapasztalattal rendelkező csapatunk SiC, TaC bevonatok és CVD Szilárd SiC termékekre specializálódott. Üdvözöljük, hogy vásároljon tőlünk Szilárd SiC gázzuhanyfejet.

A VeTek Semiconductor Solid SiC gázzuhanyfejet gyakran használják a prekurzor gázok egyenletes elosztására a hordozó felületén a félvezető CVD folyamatok során. A CVD-SiC anyag használata zuhanyfejekhez számos előnnyel jár. Magas hővezető képessége segít elvezetni a CVD-folyamat során keletkező hőt, egyenletes hőmérsékleteloszlást biztosítva az aljzaton. Ezenkívül a CVD sic zuhanyfej kémiai stabilitása lehetővé teszi, hogy ellenálljon a korrozív gázoknak és a CVD-folyamatok során gyakran előforduló zord környezeteknek. 

A CVD SiC zuhanyfejek kialakítása egyedi CVD-rendszerekhez és folyamatkövetelményekhez szabható. Általában azonban egy lemez vagy tárcsa alakú alkatrészből állnak, számos precíziós fúrással vagy résszel. A furatmintázat és a geometria gondosan megtervezett, hogy egyenletes gázeloszlást és áramlási sebességet biztosítson a hordozó felületén.

Szilárd SiC fizikai tulajdonságai