Tömör szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

Biztos lehet benne, hogy szilárd SiC maratott fókuszgyűrűt vásárol gyárunkból. A VeTek Semiconductor forradalmi technológiája lehetővé teszi a Solid SiC Etching Focusing Ring, egy ultra-nagy tisztaságú szilícium-karbid anyag előállítását, amelyet kémiai gőzleválasztási eljárással hoztak létre.

Szilárd szilícium-karbamid marató fókuszáló gyűrűt használnak a félvezető gyártási folyamatokban, különösen a plazmamaratási rendszerekben. A szilícium-karbid (SiC) lapkák precíz és ellenőrzött maratásának kulcsfontosságú eleme a tömör SiC marató fókuszgyűrű.

A plazmamaratási folyamat során a fókuszáló gyűrű több szerepet tölt be:

1. A plazma fókuszálása: A szilárd SiC maratási fókuszáló gyűrű segít a plazma formálásában és koncentrálásában az ostya körül, biztosítva, hogy a maratási folyamat egyenletesen és hatékonyan menjen végbe. Segít a plazmát a kívánt területre korlátozni, megakadályozva a kóbor maratást vagy a környező területek károsodását.

2. A kamra falainak védelme: A fókuszáló gyűrű gátként működik a plazma és a kamra falai között, megakadályozva a közvetlen érintkezést és az esetleges sérüléseket. A SiC rendkívül ellenálló a plazma erózióval szemben, és kiváló védelmet nyújt a kamra falai számára.

3. Hőmérsékletszabályozás: A fókuszáló gyűrű elősegíti az egyenletes hőmérséklet-eloszlás fenntartását az ostyán a maratási folyamat során. Segíti a hő elvezetését, és megakadályozza a helyi túlmelegedést vagy a termikus gradienseket, amelyek befolyásolhatják a maratási eredményeket.

A szilárd szilícium-karbamidot a fókuszáló gyűrűkhöz választották kiemelkedő termikus és kémiai stabilitása, nagy mechanikai szilárdsága és plazma erózióval szembeni ellenálló képessége miatt. Ezek a tulajdonságok a SiC-t megfelelő anyaggá teszik a plazmamaratási rendszereken belüli zord és megerőltető körülményekhez.

Érdemes megjegyezni, hogy a fókuszáló gyűrűk kialakítása és specifikációi az adott plazmamaratási rendszertől és a folyamatkövetelményektől függően változhatnak. A VeTek Semiconductor optimalizálja a fókuszáló gyűrűk alakját, méreteit és felületi jellemzőit, hogy biztosítsa az optimális maratási teljesítményt és hosszú élettartamot. A szilárd szilícium-karbidot széles körben használják ostyahordozókhoz, szuszceptorokhoz, próbalapkákhoz, vezetőgyűrűkhöz, maratási folyamatokhoz, CVD-folyamatokhoz stb.

A szilárd SiC maratású fókuszáló gyűrű termékparamétere

VeTek Félvezetőgyártó Bolt