Szilárd szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

Biztos lehet benne, hogy szilárd SiC maratott fókuszgyűrűt vásárol gyárunkból. A VeTek Semiconductor forradalmi technológiája lehetővé teszi a Solid SiC Etching Focusing Ring, egy ultra-nagy tisztaságú szilícium-karbid anyag előállítását, amelyet kémiai gőzleválasztási eljárással hoztak létre.

A szilárd szilícium-karbamid marató fókuszáló gyűrűt a félvezetőgyártási folyamatokban használják, különösen a plazmamaratási rendszerekben. A SiC fókuszgyűrű kulcsfontosságú alkatrész, amely segít a szilícium-karbid (SiC) lapkák precíz és ellenőrzött maratásának elérésében.

A plazmamaratási folyamat során a fókuszgyűrű több szerepet játszik, az alábbiak szerint:

● A plazma fókuszálása: A szilárd SiC maratási fókuszáló gyűrű segít a plazma formálásában és koncentrálásában az ostya körül, biztosítva, hogy a maratási folyamat egyenletesen és hatékonyan menjen végbe. Segít a plazmát a kívánt területre korlátozni, megakadályozva a kósza maratást vagy a környező területek károsodását.

●  A kamra falainak védelme: A fókuszáló gyűrű gátként működik a plazma és a kamra falai között, megakadályozva a közvetlen érintkezést és az esetleges sérüléseket. A SiC rendkívül ellenálló a plazma erózióval szemben, és kiváló védelmet nyújt a kamra falai számára.

●  Thőmérséklet szabályozás: A sic fókuszgyűrű elősegíti az egyenletes hőmérséklet-eloszlás fenntartását az ostyán a maratási folyamat során. Segíti a hő elvezetését, és megakadályozza a helyi túlmelegedést vagy a termikus gradienseket, amelyek befolyásolhatják a maratási eredményeket.

A szilárd szilícium-karbamidot a fókuszáló gyűrűkhöz a kiemelkedő termikus és kémiai stabilitása, nagy mechanikai szilárdsága és a plazma erózióval szembeni ellenállása miatt választották. Ezek a tulajdonságok a SiC-t megfelelő anyaggá teszik a plazmamaratási rendszereken belüli zord és megerőltető körülményekhez.

Érdemes megjegyezni, hogy a fókuszáló gyűrűk kialakítása és specifikációi az adott plazmamaratási rendszertől és a folyamatkövetelményektől függően változhatnak. A VeTek Semiconductor optimalizálja a fókuszáló gyűrűk alakját, méreteit és felületi jellemzőit az optimális maratási teljesítmény és hosszú élettartam érdekében. A szilárd szilícium-karbidot széles körben használják ostyahordozókhoz, szuszceptorokhoz, próbalapkákhoz, vezetőgyűrűkhöz, maratási folyamatokhoz, CVD-folyamatokhoz stb.