A VeTek Semiconductor egyedi keményfém bevonatai kiváló védelmet nyújtanak a grafit alkatrészeknek a SiC Epitaxy Process során az igényes félvezető és kompozit félvezető anyagok feldolgozásához. Az eredmény a grafitkomponensek élettartamának meghosszabbítása, a reakciósztöchiometria megőrzése, a szennyeződések migrációjának gátlása az epitaxiás és a kristálynövekedési alkalmazásokhoz, ami megnövekedett hozamot és minőséget eredményez.
Tantál-karbid (TaC) bevonataink magas hőmérsékleten (2200°C-ig) megvédik a kritikus kemence- és reaktorelemeket a forró ammóniától, hidrogéntől, szilíciumgőzöktől és olvadt fémektől. A VeTek Semiconductor a grafitfeldolgozási és mérési lehetőségek széles skálájával rendelkezik, hogy megfeleljen az Ön személyre szabott követelményeinek, így költségtérítéses bevonatot vagy teljes körű szolgáltatást kínálunk, szakértő mérnökeink csapatával készen áll a megfelelő megoldás megtervezésére az Ön és az Ön konkrét alkalmazási területén. .
Összetett félvezető kristályok
A VeTek Semiconductor speciális TaC bevonatokat tud biztosítani különféle alkatrészekhez és hordozókhoz. A VeTek Semiconductor iparágvezető bevonási eljárása révén a TaC bevonat nagy tisztaságú, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyszerállóságot érhet el, ezáltal javítva a kristály TaC/GaN) és EPl rétegek termékminőségét, és meghosszabbítva a kritikus reaktorkomponensek élettartamát.
Hőszigetelők
SiC, GaN és AlN kristálynövesztő komponensek, beleértve a tégelyeket, magtartókat, terelőket és szűrőket. Ipari szerelvények, beleértve az ellenállásos fűtőelemeket, fúvókákat, árnyékoló gyűrűket és keményforrasztó szerelvényeket, GaN és SiC epitaxiális CVD reaktorkomponenseket, beleértve az ostyatartókat, műholdtálcákat, zuhanyfejeket, sapkákat és talapzatokat, MOCVD alkatrészeket.
LED (Light Emitting Diode) ostyahordozó
ALD (Semiconductor) vevő
EPI-receptor (SiC epitaxiás folyamat)
TaC bevonatú műholdas szuszceptor TaC bevonat szuszceptor és gyűrű TaC bevonat alkatrészek Félhold alkatrészek TaC bevonattal
Sic | TaC | |
Főbb jellemzői | Ultra nagy tisztaságú, kiváló plazmaállóság | Kiváló magas hőmérsékleti stabilitás (magas hőmérsékletű folyamatmegfelelőség) |
Tisztaság | >99,9999% | >99,9999% |
Sűrűség (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Keménység (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Ellenállás [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Hővezetőképesség (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hőtágulási együttható (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Alkalmazás | Félvezető berendezés, kerámia jig (fókuszgyűrű, zuhanyfej, próbalap) | SiC Egykristály növekedés, Epi, UV LED Berendezés alkatrészek |
A tantál-karbid bevonatú porózus grafit nélkülözhetetlen termék a félvezető-feldolgozási folyamatban, különösen a SIC kristálynövekedési folyamatban. A folyamatos kutatás-fejlesztési beruházások és technológiai fejlesztések után a VeTek Semiconductor TaC bevonatú porózus grafit termékminősége nagy dicséretet kapott az európai és amerikai vásárlók részéről. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldéseA CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor a MOCVD planetáris reaktor egyik központi eleme. A CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor révén a nagy korong kering és a kis korong forog, és a vízszintes áramlási modellt kiterjesztik a többchipes gépekre is, így rendelkezik mind a kiváló minőségű epitaxiális hullámhossz-egyenletesség-kezeléssel, mind a hibaoptimalizálással. -chip gépek és a többchipes gépek gyártási költségelőnyei. A VeTek Semiconductor magasan testreszabott CVD TaC-t tud nyújtani az ügyfeleknek bevonat planetáris SiC epitaxiális szuszceptor. Ha Ön is szeretne olyan bolygórendszerű MOCVD kemencét készíteni, mint az Aixtron, gyere el hozzánk!
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy kínai vállalat, amely a GaN Epitaxy szuszceptor világszínvonalú gyártója és szállítója. Hosszú ideje dolgozunk a félvezetőiparban, mint például a szilícium-karbid bevonatok és a GaN Epitaxy szuszceptor. Kiváló termékeket és kedvező árakat tudunk biztosítani Önnek. A VeTek Semiconductor már alig várja, hogy hosszú távú partnere lehessen.
Olvass továbbKérdés küldéseAz eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor egy tantál-karbiddal bevont grafittálca a szilícium-karbid epitaxiális növekedéséhez, a lapka minőségének és teljesítményének javítása érdekében. A VeTek-et fejlett bevonattechnológiája és tartós megoldásai miatt választották ki, amelyek kiváló SiC epitaxiás eredményeket és meghosszabbított szuszceptor élettartamot biztosítanak. Várjuk további kérdéseit.
Olvass továbbKérdés küldéseA TaC Coating Guide Rings termékek vezető kínai gyártójaként a VeTek Semiconductor TaC bevonatú vezetőgyűrűk fontos összetevői a MOCVD berendezésekben, biztosítva a pontos és stabil gázszállítást az epitaxiális növekedés során, és nélkülözhetetlen anyagok a félvezető epitaxiális növekedésében. Üdvözöljük, hogy konzultáljon velünk.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a porózus tantál-karbid termékek professzionális gyártója és vezetője Kínában. A porózus tantál-karbidot általában kémiai gőzleválasztásos (CVD) módszerrel állítják elő, biztosítva a pórusméret és -eloszlás pontos szabályozását, és a magas hőmérsékletű szélsőséges környezetek számára készült anyageszköz. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldése