Tantál-karbid bevonat támogatása

A VeTek Semiconductor fő funkciójaTantál-karbid (TaC) bevonatTámogatás, hogy javítsa ahőállóság, kopásállóság és korrózióállóságTantál-karbid bevonatréteg bevonásával, hogy javítsák a folyamat pontosságát és megbízhatóságát, valamint meghosszabbítsák az alkatrészek élettartamát. Ez egy nagy teljesítményű bevonó termék, amelyet a félvezető feldolgozás területén használnak.

A VeTek Semiconductor's Tantál Carbide Coating Suppor Mohs-keménysége közel 9-10, ami a gyémánt után a második. Rendkívül erős kopásállósággal rendelkezik, és hatékonyan ellenáll a felületi kopásnak és ütéseknek a feldolgozás során, ezáltal hatékonyan meghosszabbítja a berendezés alkatrészeinek élettartamát. Magas, körülbelül 3880 °C-os olvadáspontjával együtt gyakran használják félvezető berendezések kulcsfontosságú alkatrészeinek bevonására, mint például tartószerkezetek felületi bevonatai, hőkezelő berendezések, kamrák vagy tömítések félvezető berendezésekben, hogy javítsák kopásállóságát és magas hőmérsékletét. ellenállás.

A tantál-karbid rendkívül magas, körülbelül 3880 °C-os olvadáspontja miatt a félvezető feldolgozási folyamatokban, mint pl.kémiai gőzleválasztás (CVD)ésfizikai gőzleválasztás (PVD), Az erős magas hőmérséklet-állósággal és kémiai korrózióállósággal rendelkező TaC bevonat hatékonyan védi a berendezés alkatrészeit, és megakadályozza a korróziót vagy az aljzat károsodását szélsőséges környezetben, hatékony védelmet nyújtva a magas hőmérsékletű környezetben az ostyagyártás során. Ez a tulajdonság azt is meghatározza, hogy a VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonathordozóját gyakran használják maratási és korrozív folyamatokban.

A tantál-karbid bevonattartó támasz a részecskék szennyeződésének csökkentésére is szolgál. Az ostya feldolgozása során a felületi kopás általában szemcsés szennyeződést okoz, ami befolyásolja az ostya termékminőségét. A TaC Coating extrém, 9-10 Mohs keménységű termékjellemzői hatékonyan csökkenthetik ezt a kopást, ezáltal csökkentve a részecskék képződését. A TaC Coating kiváló hővezető képességével (körülbelül 21 W/m·K) kombinálva jó hővezető képességet tud fenntartani magas hőmérsékleti körülmények között, ezáltal nagymértékben javítja az ostyagyártás hozamát és konzisztenciáját.

A VeTek Semiconductor fő TaC Coating termékei közé tartozikTaC bevonatfűtő, CVD TaC bevonótégely, TaC bevonat rotációs szuszceptorésTaC bevonat alkatrészstb., valamint testreszabott termékszolgáltatásokat támogat. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló termékeket és műszaki megoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnere leszünk Kínában.

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A CVD TaC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai：