TaC bevonatú gyűrű SiC epitaxiális reaktorhoz

A VeTek Semiconductor egy nagyméretű TaC bevonatú gyűrű a SiC epitaxiális reaktorok gyártója és újítója számára Kínában. Sok éve szakosodunk a TaC bevonatokra. Termékeink nagy tisztaságúak, nagy stabilitásúak, kiváló korrózióállósággal és nagy kötési szilárdsággal rendelkeznek. előre, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A SiC epitaxiális reaktor TaC bevonatú gyűrűjének termékbevezetése

A VeTek Semiconductor egy híres kínai székhelyű vállalat, amely a kiváló minőségű TaC és SiC bevonatok, valamint a SiC epitaxiális reaktorokhoz való nagy tisztaságú TaC bevonatú gyűrű gyártásában szerzett szakértelméről ismert. Büszkék vagyunk arra, hogy kiváló termékeket kínálunk versenyképes áron. Szeretettel meghívjuk Önt, hogy forduljon hozzánk és fedezze fel az általunk kínált kivételes megoldásokat.

A SiC epitaxiális reaktorokhoz való TaC bevonatú gyűrűink döntő szerepet játszanak. Ezek a gyűrűk a félhold készletünk szerves részét képezik, és olyan alapvető funkciókat kínálnak, mint az aljzat alátámasztása, a pontos hőmérsékletszabályozás, a hatékony hőszigetelés, a hatékony szellőzés és a megbízható védelem. Harmonikusan működve ezek a gyűrűk biztosítják a reakciókamrában növesztett SiC epitaxiális réteg vastagságának, adalékolásának és hibajellemzőinek aprólékos ellenőrzését.

A kivételes TaC bevonatú gyűrűink mellett a VeTek Semiconductor a kapcsolódó termékek széles választékát kínálja, amelyeket kifejezetten reakciókamrákhoz terveztek. Termékpalettánk felső és alsó félholdakat, védőburkolatokat, szigetelőburkolatokat és folyamatlevegő-elterelő interfészeket tartalmaz. Ezen komponensek mindegyike aprólékos SiC vagy TaC bevonaton esik át a teljesítmény fokozása és élettartamuk meghosszabbítása érdekében.

A SiC epitaxiális reaktor TaC bevonatú gyűrűjének termékparamétere

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)