A VeTek Semiconductor egy nagyméretű, tantál-karbid bevonatú félhold alkatrész az LPE gyártók és újítók számára Kínában. Sok éve a TaC bevonatokra specializálódtunk. Termékeink ellenállnak a 2000 Celsius fok feletti hőmérsékletnek, meghosszabbítják a fogyóeszközök élettartamát. hogy hosszú távú partnere legyen Kínában.
Professzionális gyártóként a VeTek Semiconductor kiváló minőségű tantál-karbid bevonatú félhold alkatrészt szeretne kínálni az LPE-hez.
A VeTek Semiconductor egy professzionális vezető kínai SiC, TaC bevonat, szilárd szilícium-karbid gyártó kiváló minőséggel és elfogadható áron. Az LPE-hez készült tantál-karbid bevonatú félhold alkatrészünket a vízszintes és függőleges epitaxiás berendezések reakciókamrájában használják hordozó, hőmérséklet-szabályozás és hő szállítására. konzerválás, szellőzés, védelem és egyéb funkciók a reakciókamrán belüli SiC epitaxiaréteg vastagságának, adalékolásnak, hibáinak és egyéb anyagjellemzőinek együttes szabályozása érdekében.
VeTek Semiconductor kapcsolódó termékek: felső félhold, alsó félhold, védőburkolat, szigetelőburkolat, folyamatlevegő-elterelő interfész. Cégünk elkötelezett amellett, hogy a reakciókamrás SiC bevonatú és TaC bevonatú alkatrészmegoldások teljes skáláját kínálja ügyfeleinek.
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5 Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |