A VeTek Semiconductor a vezető tantál-karbid bevonatú bolygókerekes forgótárcsák gyártója és újítója Kínában. Sok éve foglalkozunk kerámia bevonattal. Termékeink nagy tisztaságúak és magas hőmérséklet-állósággal rendelkeznek. Várjuk, hogy az Ön hosszú távú partnere lehessünk Kína.
A kiváló minőségű tantál-karbid bevonatú bolygóforgató lemezt a kínai VeTek Semiconductor gyártó kínálja. VételTantál-karbid bevonatúPlanetary Rotation Disk, amely kiváló minőségű közvetlenül alacsony áron.
A tantál-karbid bevonatú bolygókerekes forgótárcsa az AIXTRON G10 MOCVD rendszerhez tervezett tartozék, amelynek célja a félvezetőgyártás hatékonyságának és minőségének javítása. A kiváló minőségű anyagokból készült és precízen gyártott tantál-karbid bevonatú bolygókerekes forgótárcsa kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot kínálFém-szerves kémiai gőzleválasztás (MOCVD) folyamatok.
A Planetary Disk grafittal bevont hordozóból készültCVD TaC, kiváló termikus stabilitást, nagy tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást biztosít.
A különböző méretű félvezető lapkákhoz testreszabható, a Planetary Disk különféle gyártási követelményekre alkalmas. Robusztus felépítését kifejezetten úgy tervezték, hogy ellenálljon a MOCVD rendszer megerőltető működési feltételeinek, így biztosítva a hosszú távú teljesítményt, valamint minimalizálva az ostyahordozókkal és szuszceptorokkal kapcsolatos állásidőket és karbantartási költségeket.
A Planetary Disk segítségével aAIXTRON G10 MOCVD rendszernagyobb hatékonyságot és kiváló eredményeket érhet el a félvezetőgyártásban. Kivételes hőstabilitása, kompatibilitása a különböző szeletméretekkel és megbízható teljesítménye elengedhetetlen eszközzé teszik a gyártási hatékonyság optimalizálásához és a kiemelkedő eredmények eléréséhez a kihívásokkal teli MOCVD környezetben.
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3*10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |