Tantál-karbid bevonatú burkolat

A VeTek Semiconductor a tantál-karbid bevonatú burkolatok vezető gyártója és újítója Kínában. Sok éve szakosodunk a TaC és SiC bevonatokra. Termékeink korrózióállóak és nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

Tantál-karbid bevonatú burkolatok hatalmas választékát találja Kínából a VeTek Semiconductornál. Professzionális értékesítés utáni szolgáltatást és megfelelő árat biztosít az együttműködésre. A VeTek Semiconductor által kifejlesztett tantál-karbid bevonatú burkolat egy kifejezetten az AIXTRON G10 MOCVD rendszerhez tervezett tartozék, amelynek célja a hatékonyság optimalizálása és a félvezetőgyártás minőségének javítása. Gondosan, kiváló minőségű anyagok felhasználásával készült, és a legnagyobb precizitással gyártják, így kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot biztosít a fém-szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) folyamatokhoz.

A vegyi gőzleválasztásos (CVD) tantál-karbiddal (TaC) bevont grafit szubsztrátumból készült tantál-karbid bevonatú burkolat kivételes hőstabilitást, nagy tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást kínál. Ez az egyedülálló anyagkombináció megbízható megoldást nyújt a MOCVD rendszer megterhelő működési feltételeire.

A tantál-karbid bevonatú burkolat testreszabható a különböző méretű félvezető lapkákhoz, így alkalmas a különféle gyártási követelményekre. Robusztus felépítését kifejezetten úgy tervezték, hogy ellenálljon a kihívást jelentő MOCVD-környezetnek, biztosítva a hosszú távú teljesítményt, valamint minimalizálva az ostyahordozókkal és szuszceptorokkal kapcsolatos állásidőket és karbantartási költségeket.

A TaC burkolat beépítésével az AIXTRON G10 MOCVD rendszerbe a félvezetőgyártók nagyobb hatékonyságot és kiváló eredményeket érhetnek el. A Planetary Disk kivételes termikus stabilitása, kompatibilitása a különböző szeletméretekkel és megbízható teljesítménye nélkülözhetetlen eszközzé teszik a gyártási hatékonyság optimalizálásához és a MOCVD-folyamat kiemelkedő eredményeinek eléréséhez.

A tantál-karbid bevonatú burkolat termékparaméterei

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)