A VeTek Semiconductor a tantál-karbid bevonatú burkolatok vezető gyártója és újítója Kínában. Sok éven át a TaC és SiC bevonatokra specializálódtunk. Termékeink korrózióállóak, nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Tantál-karbid bevonatú burkolatok hatalmas választékát találja Kínából a VeTek Semiconductornál. Professzionális értékesítés utáni szolgáltatást és megfelelő árat biztosít az együttműködésre. A VeTek Semiconductor által kifejlesztett tantál-karbid bevonatú burkolat egy kifejezetten az AIXTRON G10 MOCVD rendszerhez tervezett tartozék, amelynek célja a hatékonyság optimalizálása és a félvezetőgyártás minőségének javítása. Gondosan, kiváló minőségű anyagok felhasználásával készült, és a legnagyobb precizitással gyártják, így kiemelkedő teljesítményt és megbízhatóságot biztosít a fém-szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) folyamatokhoz.
A vegyi gőzleválasztásos (CVD) tantál-karbiddal (TaC) bevont grafit szubsztrátumból készült tantál-karbid bevonatú burkolat kivételes hőstabilitást, nagy tisztaságot és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállást kínál. Ez az egyedülálló anyagkombináció megbízható megoldást nyújt a MOCVD rendszer megterhelő működési feltételeire.
A tantál-karbid bevonatú burkolat testreszabható a különböző méretű félvezető lapkákhoz, így alkalmas a különféle gyártási követelményekre. Robusztus felépítését kifejezetten úgy tervezték, hogy ellenálljon a kihívást jelentő MOCVD-környezetnek, biztosítva a hosszú távú teljesítményt, valamint minimalizálva az ostyahordozókkal és szuszceptorokkal kapcsolatos állásidőket és karbantartási költségeket.
A TaC burkolat beépítésével az AIXTRON G10 MOCVD rendszerbe a félvezetőgyártók nagyobb hatékonyságot és kiváló eredményeket érhetnek el. A Planetary Disk kivételes termikus stabilitása, kompatibilitása a különböző szeletméretekkel és megbízható teljesítménye nélkülözhetetlen eszközzé teszik a gyártási hatékonyság optimalizálásához és a MOCVD-folyamat kiemelkedő eredményeinek eléréséhez.
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |