TaC bevonatfűtő

A VeTek Semiconductor a TaC Coating Heater vezető gyártója és megújítója Kínában. Ennek a terméknek rendkívül magas olvadáspontja van (kb. 3880°C). A TaC Coating Heater magas olvadáspontja lehetővé teszi, hogy rendkívül magas hőmérsékleten működjön, különösen a gallium-nitrid (GaN) epitaxiális rétegek növekedése során a fém szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) folyamatában. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A TaC Coating Heater egy nagy teljesítményű fűtőelem, amelyet széles körben használnak a félvezető gyártási folyamatokban. Felülete tantál-karbid (TaC) anyaggal van bevonva, amely kiváló magas hőmérséklet-állóságot, kémiai korrózióállóságot és kiváló hővezető képességet biztosít a fűtőberendezésnek.

A TaC Coating Heater főbb alkalmazásai a félvezetőgyártásban a következők:

A gallium-nitrid (GaN) epitaxiális növekedési folyamata során a TaC Coating Heater pontosan szabályozott, magas hőmérsékletű környezetet biztosít annak érdekében, hogy az epitaxiális réteg egyenletes sebességgel és kiváló minőségben kerüljön az aljzatra. Stabil hőteljesítménye segít a vékonyréteg anyagok pontos szabályozásában, ezáltal javítva a készülék teljesítményét.

Ezenkívül a fém szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) eljárásban a TaC bevonat magas hőmérséklet-állóságával és hővezető képességével kombinálva a TaC Coating Heatert általában a reakciógáz melegítésére használják, és az egyenletes hőeloszlás biztosításával elősegíti kémiai reakcióját a hordozó felületén, ezáltal javítva az epitaxiális réteg egyenletességét és kiváló minőségű filmet képezve.

A TaC Coating Heater termékek iparágvezetőjeként a VeTek Semiconducto mindig támogatja a termék testreszabási szolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat. Nem számít, milyen konkrét igényei vannak, mi megtaláljuk a legjobb megoldást az Ön TaC Coating Heater igényeihez, és bármikor várjuk konzultációját.

A TaC Coating Heater alapvető fizikai tulajdonságai:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)