TaC bevonat alkatrész

VeTek SemiconductorTaC bevonólemezegy speciális anyag, amelyet széles körben használnak afélvezetőgyártási folyamat. Nagy keménységével és kopásállóságával, magas hőmérséklet-állóságával, korrózióállóságával, alacsony súrlódási együtthatójával és jó hővezető képességével kombinálva a TaC bevonatlemez pótolhatatlan szerepet játszik a félvezető-feldolgozás számos láncszemében.

Általában az alkalmazásokTaC bevonatú lemezeka félvezető feldolgozásban a következők:

CVD/ALD növekedési szubsztrát: A TaC bevonatú lemezek magas hőmérséklet-állósága, kémiai stabilitása és alacsony súrlódási együtthatója ideális CVD/ALD növekedési hordozóvá teszik őket. Stabil növekedési környezetet biztosíthat a film egyenletességének és sűrűségének biztosítása érdekében.

Rézkarc maszk lemez: A TaC bevonatú lemezek nagy keménysége és korrózióállósága lehetővé teszi, hogy ellenálljanak a nagy energiájú folyamatoknak, mint például a plazmamarás, mint maratott maszklemezek, védve az alatta lévő filmet.

CMP polírozó betét: A TaC bevonatú lemezek kopásállósága és alacsony súrlódási együtthatója ideális anyaggá teszi őket a CMP polírozó párnákhoz, amelyek hatékonyan távolítják el a részecskéket és a hibákat a fólia felületén.

Magas hőmérsékletű kemencecső: A TaC bevonatú lemezek magas hőmérséklet- és korrózióállósága lehetővé teszi, hogy kemencecsőként használják őket magas hőmérsékletű kemencékben magas hőmérsékletű izzításhoz, diffúzióhoz és egyéb folyamatokhoz.

A termék jellemzőivel kombinálvaTaC bevonólemez, meghatározza, hogy ez a termék pótolhatatlan kulcsszerepet játszik az eszköz teljesítményének javításában, a berendezések élettartamának meghosszabbításában és a termelés hatékonyságának javításában. 

Professzionális gyártókéntGaN SiC epi akceptoron, Porózus grafitésTaC bevonólemezKínában a VeTek Semiconductor mindig ragaszkodik a személyre szabott termékszolgáltatásokhoz, és elkötelezett amellett, hogy az iparágat csúcstechnológiával és termékmegoldásokkal lássa el. Őszintén várjuk további konzultációját.

CVD TAC COATING Műszaki paraméterek：

TaC Coating alkatrészboltok：

A félvezető chipek epitaxiás ipari láncának áttekintése：