TaC bevonat forgólap

A VeTek Semiconductor TaC bevonatú rotációs lemeze nagy tisztaságú összetételű, 5 ppm-nél kisebb szennyezőanyag-tartalommal, sűrű és egyenletes szerkezettel rendelkezik, amelyet széles körben használnak az LPE EPI rendszerekben, Aixtron rendszerekben, Nuflare rendszerekben, TEL CVD rendszerekben, VEECO rendszerekben, TSI-ben. rendszerek.

Kiváló mechanikai tulajdonságok:

Bevonat keménysége 2300HV-ig, kiváló kopásállósággal.

A bevonat és az aljzat közötti tapadás erős, nem könnyű leesni vagy leválni.

A bevonat magas hőmérsékleten is jó szerkezeti stabilitást tud fenntartani.

Kiváló korrózióállóság:

Maga a TaC anyag kiváló kémiai stabilitással és korrózióállósággal rendelkezik.

A VeTek félvezető bevonatok jól teljesítenek különféle agresszív gázkörnyezetekben.

Hatékonyan megvédheti a berendezés belső alkatrészeit a korróziós károktól.

Magas felületi minőség:

A VeTek félvezető precíz bevonási eljárást alkalmaz a kívánt felület eléréséhez.

Az alacsony felületi érdesség csökkenti a részecskék felhalmozódását és lerakódását.

A bevonat állaga jó:

A VeTek Semiconductor hangminőség-ellenőrző rendszerrel rendelkezik, amely biztosítja a tételek közötti egyenletes teljesítményt.

A bevonat vastagsága egyenletesen oszlik el, és nincsenek nyilvánvaló helyi hibák.

Kiváló gyakorlati alkalmazási teljesítmény:

A VeTek félvezető TaC bevonatot széles körben használják számos jól ismert epitaxiális berendezésgyártónál itthon és külföldön.

A TaC bevonatú forgólemez termékparaméterei:

Ipari lánc:

Gyártóüzlet