A VeTek Semiconductor egyedi keményfém bevonatai kiváló védelmet nyújtanak a grafit alkatrészeknek a SiC Epitaxy Process során az igényes félvezető és kompozit félvezető anyagok feldolgozásához. Az eredmény a grafitkomponensek élettartamának meghosszabbítása, a reakciósztöchiometria megőrzése, a szennyeződések migrációjának gátlása az epitaxiás és a kristálynövekedési alkalmazásokhoz, ami megnövekedett hozamot és minőséget eredményez.
Tantál-karbid (TaC) bevonataink magas hőmérsékleten (2200°C-ig) megvédik a kritikus kemence- és reaktorelemeket a forró ammóniától, hidrogéntől, szilíciumgőzöktől és olvadt fémektől. A VeTek Semiconductor a grafitfeldolgozási és mérési lehetőségek széles skálájával rendelkezik, hogy megfeleljen az Ön személyre szabott követelményeinek, így költségtérítéses bevonatot vagy teljes körű szolgáltatást kínálunk, szakértő mérnökeink csapatával készen áll a megfelelő megoldás megtervezésére az Ön és az Ön konkrét alkalmazási területén. .
Összetett félvezető kristályok
A VeTek Semiconductor speciális TaC bevonatokat tud biztosítani különféle alkatrészekhez és hordozókhoz. A VeTek Semiconductor iparágvezető bevonási eljárása révén a TaC bevonat nagy tisztaságú, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyszerállóságot érhet el, ezáltal javítva a kristály TaC/GaN) és EPl rétegek termékminőségét, és meghosszabbítva a kritikus reaktorkomponensek élettartamát.
Hőszigetelők
SiC, GaN és AlN kristálynövesztő komponensek, beleértve a tégelyeket, magtartókat, terelőket és szűrőket. Ipari szerelvények, beleértve az ellenállásos fűtőelemeket, fúvókákat, árnyékoló gyűrűket és keményforrasztó szerelvényeket, GaN és SiC epitaxiális CVD reaktorkomponenseket, beleértve az ostyatartókat, műholdtálcákat, zuhanyfejeket, sapkákat és talapzatokat, MOCVD alkatrészeket.
LED (Light Emitting Diode) ostyahordozó
ALD (Semiconductor) vevő
EPI-receptor (SiC epitaxiás folyamat)
TaC bevonatú műholdas szuszceptor TaC bevonat szuszceptor és gyűrű TaC bevonat alkatrészek Félhold alkatrészek TaC bevonattal
Sic | TaC | |
Főbb jellemzői | Ultra nagy tisztaságú, kiváló plazmaállóság | Kiváló magas hőmérsékleti stabilitás (magas hőmérsékletű folyamatmegfelelőség) |
Tisztaság | >99,9999% | >99,9999% |
Sűrűség (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Keménység (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Ellenállás [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Hővezetőképesség (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hőtágulási együttható (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Alkalmazás | Félvezető berendezés, kerámia jig (fókuszgyűrű, zuhanyfej, próbalap) | SiC Egykristály növekedés, Epi, UV LED Berendezés alkatrészek |
A VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú háromsziromgyűrű-gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk TaC és SiC bevonatokra. Termékeink korrózióállóak, nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a vezető tantál-karbid bevonatú tokmánygyártó és innovátor Kínában. Sok éve a TaC bevonatokra specializálódtunk. Termékeink nagy tisztaságúak és 2000℃-ig magas hőmérséklet-állósággal rendelkeznek. Bízunk benne, hogy hosszú távú termékeivé válhatunk. partner Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a tantál-karbid bevonatú burkolatok vezető gyártója és újítója Kínában. Sok éven át a TaC és SiC bevonatokra specializálódtunk. Termékeink korrózióállóak, nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a tantál-karbid bevonatburkolat vezető gyártója és megújítója Kínában. Nagy tisztaságú, magas hőmérsékletnek ellenálló tantál-karbid termékek biztosítására összpontosítunk. Tantál-karbid bevonatú burkolatunk kiváló teljesítménnyel és megbízhatósággal rendelkezik, és hatékonyan védi az anyagokat rendkívül magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor TaC bevonatú deflektorgyűrűje egy rendkívül speciális alkatrész, amelyet SiC kristálynövekedési folyamatokhoz terveztek. A TaC bevonat kiváló magas hőmérsékleti ellenállást és kémiai inertséget biztosít, hogy megbirkózzanak a magas hőmérsékletekkel és a korrozív környezettel a kristálynövekedési folyamat során. Ez biztosítja az alkatrész stabil teljesítményét és hosszú élettartamát, csökkentve a csere gyakoriságát és az állásidőt. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy nagyméretű TaC bevonatú gyűrű a SiC epitaxiális reaktorok gyártója és újítója számára Kínában. Sok éve szakosodunk a TaC bevonatokra. Termékeink nagy tisztaságúak, nagy stabilitásúak, kiváló korrózióállósággal és nagy kötési szilárdsággal rendelkeznek. előre, hogy hosszú távú partnere lehessen Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése