TaC bevonatú háromszirom gyűrű

A VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú háromsziromgyűrű-gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk TaC és SiC bevonatokra. Termékeink korrózióállóak, nagy szilárdságúak. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconductor egy professzionális kínai TaC bevonatú háromszirom gyűrű gyártója és beszállítója. A TaC bevonatú háromszirom gyűrűt az Aixtron G10 leválasztási rendszerben használják összetett félvezető, G10-GaN 150/200 mm nagy áteresztőképességű epitaxia számára GaN teljesítményhez és rádiófrekvenciához. alkalmazások.

A VeTek Semiconductor TaC bevonat a magas hőmérsékletnek ellenálló anyag új generációja, jobb magas hőmérsékleti stabilitással, mint a SiC, mint korrózióálló bevonat, oxidációálló bevonat, kopásálló bevonat, 2000 ℃ feletti környezetben használható, széles körben használják repülőgépipar ultra-magas hőmérsékletű hot end alkatrészek, a harmadik generációs félvezető egykristály növekedés és egyéb területeken.

A termék jellemzői:

1. Nagy tisztaságú, szennyeződéstartalom < 5ppm

2. Magas hőmérséklet-állóság, korrózióállóság, nagy sűrűség, nagy sűrűség

3. Magas hőmérsékleten kémiailag inert ammóniával, hidrogénnel, szilánnal és szilíciummal szemben, és jó hőstabilitású.

4. Hőütésállóság, felgyorsíthatja a működési ciklust

5. Az erős grafit tapadás biztosítja a hosszú élettartamot és a bevonat leválását.

6. Szigorú mérettűrések.

Főbb alkalmazások:

1. Epitaxiális növekedés

2. Egykristály növekedés

3. Magas hőmérsékletű korrózióelterelés

4. Magas hőmérséklet és oxidációálló fúvóka

5. Gázturbina lapátok

A TaC bevonatú háromsziromgyűrű termékparamétere

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)