A VeTek Semiconductor egyedi keményfém bevonatai kiváló védelmet nyújtanak a grafit alkatrészeknek a SiC Epitaxy Process során az igényes félvezető és kompozit félvezető anyagok feldolgozásához. Az eredmény a grafitkomponensek élettartamának meghosszabbítása, a reakciósztöchiometria megőrzése, a szennyeződések migrációjának gátlása az epitaxiás és a kristálynövekedési alkalmazásokhoz, ami megnövekedett hozamot és minőséget eredményez.
Tantál-karbid (TaC) bevonataink magas hőmérsékleten (2200°C-ig) megvédik a kritikus kemence- és reaktorelemeket a forró ammóniától, hidrogéntől, szilíciumgőzöktől és olvadt fémektől. A VeTek Semiconductor a grafitfeldolgozási és mérési lehetőségek széles skálájával rendelkezik, hogy megfeleljen az Ön személyre szabott követelményeinek, így költségtérítéses bevonatot vagy teljes körű szolgáltatást kínálunk, szakértő mérnökeink csapatával készen áll a megfelelő megoldás megtervezésére az Ön és az Ön konkrét alkalmazási területén. .
Összetett félvezető kristályok
A VeTek Semiconductor speciális TaC bevonatokat tud biztosítani különféle alkatrészekhez és hordozókhoz. A VeTek Semiconductor iparágvezető bevonási eljárása révén a TaC bevonat nagy tisztaságú, magas hőmérsékleti stabilitást és magas vegyszerállóságot érhet el, ezáltal javítva a kristály TaC/GaN) és EPl rétegek termékminőségét, és meghosszabbítva a kritikus reaktorkomponensek élettartamát.
Hőszigetelők
SiC, GaN és AlN kristálynövesztő komponensek, beleértve a tégelyeket, magtartókat, terelőket és szűrőket. Ipari szerelvények, beleértve az ellenállásos fűtőelemeket, fúvókákat, árnyékoló gyűrűket és keményforrasztó szerelvényeket, GaN és SiC epitaxiális CVD reaktorkomponenseket, beleértve az ostyatartókat, műholdtálcákat, zuhanyfejeket, sapkákat és talapzatokat, MOCVD alkatrészeket.
LED (Light Emitting Diode) ostyahordozó
ALD (Semiconductor) vevő
EPI-receptor (SiC epitaxiás folyamat)
TaC bevonatú műholdas szuszceptor TaC bevonat szuszceptor és gyűrű TaC bevonat alkatrészek Félhold alkatrészek TaC bevonattal
Sic | TaC | |
Főbb jellemzői | Ultra nagy tisztaságú, kiváló plazmaállóság | Kiváló magas hőmérsékleti stabilitás (magas hőmérsékletű folyamatmegfelelőség) |
Tisztaság | >99,9999% | >99,9999% |
Sűrűség (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Keménység (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Ellenállás [Ωcm] | 0,1-15 000 | <1 |
Hővezetőképesség (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hőtágulási együttható (10-6/℃) | 4,5-5 | 6.3 |
Alkalmazás | Félvezető berendezés, kerámia jig (fókuszgyűrű, zuhanyfej, próbalap) | SiC Egykristály növekedés, Epi, UV LED Berendezés alkatrészek |
A VeTek Semiconductor a TaC Coating Heater vezető gyártója és megújítója Kínában. Ennek a terméknek rendkívül magas olvadáspontja van (kb. 3880°C). A TaC Coating Heater magas olvadáspontja lehetővé teszi, hogy rendkívül magas hőmérsékleten működjön, különösen a gallium-nitrid (GaN) epitaxiális rétegek növekedése során a fém szerves kémiai gőzleválasztási (MOCVD) folyamatában. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseMint professzionális TaC bevonatú tokmány gyártó és szállító Kínában, a VeTek Semiconductor TaC bevonatoló tokmányát kifejezetten félvezető kemencékhez tervezték. A Vetek Semiconductor innovatív technológiája magas hőmérséklet-állóságával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével megbízható megoldást nyújt a félvezetőgyártó ipar számára a magas színvonalú gyártási szabványok biztosítására. Hiszünk abban, hogy termékeink fejlett technológiát és kiváló minőségű termékmegoldásokat kínálnak Önnek.
Olvass továbbKérdés küldéseProfesszionális TaC bevonatcsövek gyártóként és beszállítóként Kínában, a VeTek Semiconductor TaC bevonatcsöve kulcsfontosságú eleme a szilícium-karbid egykristályok sikeres növekedésének. Magas hőmérséklet-állóságával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével biztosítja a kiváló minőségű kristályok előállítását egyenletes eredménnyel. Bízzon innovatív megoldásainkban a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatának javítása érdekében, és kiváló eredményeket érjen el. Üdvözöljük, érdeklődjön tőlünk.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a CVD TAC Coating vezető gyártója, megújítója és vezetője Kínában. Hosszú évek óta a különféle CVD TAC bevonat termékekre összpontosítunk, mint például a CVD TaC bevonatborítás, a CVD TaC bevonógyűrű, a CVD TaC bevonathordozó stb. A VeTek Semiconductor támogatja a személyre szabott termékszolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat, és várja a továbbiakat. konzultáció.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a TaC bevonatlemezek és más TaC bevonat alkatrészek professzionális gyártója Kínában. A TaC bevonatot jelenleg főként olyan eljárásokban használják, mint a szilícium-karbid egykristály növesztés (PVT-módszer), epitaxiális lemez (beleértve a szilícium-karbid epitaxiát, LED-epitaxiát) stb. A TaC bevonatlemez jó hosszú távú stabilitásával kombinálva a VeTek Semiconductor TaC A Coating Plate a TaC Coating pótalkatrészek mércéje lett. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnerünkké válhat.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor professzionális GaN gyártója SiC epi szuszceptoron, CVD SiC bevonaton és CVD TAC COATING grafit szuszceptoron Kínában. Közülük a SiC epi szuszceptoron lévő GaN létfontosságú szerepet játszik a félvezető feldolgozásban. Kiváló hővezető képessége, magas hőmérsékletű feldolgozási képessége és kémiai stabilitása révén biztosítja a GaN epitaxiális növekedési folyamat magas hatékonyságát és anyagminőségét. Őszintén várjuk további konzultációját.
Olvass továbbKérdés küldése