CVD TAC bevonat

A VeTek Semiconductor a CVD TAC Coating vezető gyártója, megújítója és vezetője Kínában. Hosszú évek óta a különféle CVD TAC bevonat termékekre összpontosítunk, mint például a CVD TaC bevonatborítás, a CVD TaC bevonógyűrű, a CVD TaC bevonathordozó stb. A VeTek Semiconductor támogatja a személyre szabott termékszolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat, és várja a továbbiakat. konzultáció.

Kérdés küldése

termékleírás

A CVD TaC Coating (kémiai gőzleválasztásos tantál-karbid bevonat) egy főként tantál-karbidból (TaC) álló bevonó termék. A TaC bevonat rendkívül nagy keménységgel, kopásállósággal és magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkezik, így ideális választás a legfontosabb berendezések alkatrészeinek védelméhez és a folyamatok megbízhatóságának javításához. A félvezető feldolgozásban nélkülözhetetlen anyag.

A CVD TaC Coating termékeket általában reakciókamrákban, ostyahordozókban és maratóberendezésekben használják, és ezekben a következő kulcsszerepeket töltik be.

A CVD TaC bevonatot gyakran használják reakciókamrák belső alkatrészeinél, például szubsztrátumoknál, falpaneleknél és fűtőelemeknél. Kiváló magas hőmérséklet-állóságával kombinálva hatékonyan ellenáll a magas hőmérsékletű, korrozív gázok és plazma eróziójának, ezáltal hatékonyan meghosszabbítja a berendezés élettartamát és biztosítja a folyamat stabilitását és a termékgyártás tisztaságát.

Ezenkívül a TaC bevonatú ostyahordozók (például kvarchajók, szerelvények stb.) kiváló hőállósággal és vegyi korrózióállósággal is rendelkeznek. Az ostyahordozó megbízható alátámasztást biztosít az ostya számára magas hőmérsékleten, megakadályozza az ostya szennyeződését és deformálódását, és így javítja a teljes forgácshozamot.

Ezenkívül a VeTek Semiconductor TaC bevonatát széles körben használják különféle marató- és vékonyréteg-leválasztó berendezésekben, például plazmamaratókban, kémiai gőzleválasztó rendszerekben stb. Ezekben a feldolgozó rendszerekben a CVD TAC Coating ellenáll a nagy energiájú ionos bombázásnak és az erős kémiai reakcióknak. , ezzel biztosítva a folyamat pontosságát és megismételhetőségét.

Bármi is legyen az Ön konkrét követelménye, mi megtaláljuk a legjobb megoldást az Ön CVD TAC bevonattal kapcsolatos igényeihez, és bármikor várjuk konzultációját.

A CVD TAC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)