A VeTek Semiconductor SiC konzolos lapátja nagyon nagy teljesítményű termék. A SiC konzolos lapátunkat általában hőkezelő kemencékben használják szilícium lapkák kezelésére és alátámasztására, kémiai gőzleválasztásra (CVD) és más feldolgozási folyamatokra a félvezető gyártási folyamatokban. A SiC anyag magas hőmérsékleti stabilitása és magas hővezető képessége nagy hatékonyságot és megbízhatóságot biztosít a félvezető feldolgozási folyamatban. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.
Üdvözöljük, hogy jöjjön a Vetek Semiconductor gyárunkba, hogy megvásárolja a legújabb eladási, alacsony árú és kiváló minőségű SiC konzolos lapátot. Bízunk benne, hogy együttműködünk Önnel.
Magas hőmérsékleti stabilitás: Képes megőrizni alakját és szerkezetét magas hőmérsékleten, alkalmas magas hőmérsékletű feldolgozási folyamatokhoz.
Korrózióállóság: Kiváló korrózióállóság különféle vegyi anyagokkal és gázokkal szemben.
Nagy szilárdság és merevség: Megbízható alátámasztást biztosít a deformáció és a károsodás megelőzésére.
Nagy pontosság: A nagy feldolgozási pontosság biztosítja a stabil működést az automatizált berendezésekben.
Alacsony szennyeződés: A nagy tisztaságú SiC anyag csökkenti a szennyeződés kockázatát, ami különösen fontos az ultratiszta gyártási környezetekben.
Magas mechanikai tulajdonságok: képes ellenállni a zord munkakörnyezetnek, magas hőmérsékletnek és nagy nyomásnak.
A SiC konzolos lapát speciális alkalmazásai és alkalmazási elve
Szilícium lapka kezelése a félvezetőgyártásban:
A SiC konzolos lapátot főként szilíciumlapátok kezelésére és alátámasztására használják a félvezetőgyártás során. Ezek a folyamatok általában tisztítást, maratást, bevonatot és hőkezelést foglalnak magukban. Alkalmazási elv:
Szilícium lapka kezelése: A SiC konzolos lapátot a szilícium lapkák biztonságos rögzítésére és mozgatására tervezték. A magas hőmérsékletű és kémiai kezelési folyamatok során a SiC anyag nagy keménysége és szilárdsága biztosítja, hogy a szilícium lapka ne sérüljön vagy deformálódjon.
Kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) eljárás:
A CVD-eljárás során a SiC konzolos lapátot szilícium ostyák szállítására használják, így vékony filmrétegek rakhatók le azok felületére. Alkalmazási elv:
A CVD eljárásban a SiC konzolos lapát segítségével rögzítik a szilícium lapátot a reakciókamrában, és a gáznemű prekurzor magas hőmérsékleten lebomlik, és vékony filmet képez a szilícium lapka felületén. A SiC anyag kémiai korrózióállósága stabil működést biztosít magas hőmérsékleten és kémiai környezetben.
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC tartalom | > 99,96% |
Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Testsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600 MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |