A VeTek Semiconductor szilícium-karbid konzolos lapátja fontos eleme a félvezetőgyártási folyamatnak, különösen alkalmas diffúziós kemencékhez vagy LPCVD kemencékhez olyan magas hőmérsékletű folyamatokban, mint a diffúzió és az RTP. A szilícium-karbid konzolos lapátunkat gondosan megterveztük és gyártjuk, kiváló magas hőmérsékleti ellenállással és mechanikai szilárdsággal, és biztonságosan és megbízhatóan szállítja az ostyákat a folyamatcsőbe zord folyamatkörülmények között különféle magas hőmérsékletű folyamatokhoz, például diffúzióhoz és RTP-hez. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Biztos lehet benne, hogy személyre szabott szilícium-karbid konzolos lapátot vásárol a VeTek Semiconducto-tól. Bízunk benne, hogy együttműködünk, ha többet szeretne megtudni, most forduljon hozzánk, időben válaszolunk!
A VeTek Semiconductor szilícium-karbid konzolos lapátja nagy tisztaságú szilícium-karbidból készül, és kiváló magas hőmérséklet-állósággal és mechanikai szilárdsággal rendelkezik. Nélkülözhetetlen kulcselem a félvezető gyártási folyamatban, különösen diffúziós vagy LPCVD kemencékben és RTP eljárásokban. A szilícium-karbid konzolos lapát pontos tervezése és gyártása biztosítja az ostyák biztonságos elhelyezését és átvitelét, hogy megfeleljen a nagy pontosságú folyamatkövetelményeknek.
A VeTek Semiconductor szilícium-karbid konzolos lapátja szilícium-karbidból készül, mint fő anyag. A szilícium-karbid a nagy szilárdság és a jó hőstabilitás jellemzőivel rendelkezik, így ellenáll a kemény körülményeknek a félvezető kemencék magas hőmérsékletű folyamatkörnyezetében. A szilícium-karbid választásának egyik oka az, hogy képes alkalmazkodni a félvezető kemencék magas hőmérsékletű környezetéhez.
A szilícium-karbid konzolos lapát kialakítása lehetővé teszi, hogy belenyúljon a kemencében lévő technológiai csőbe, és az egyik végén a csövön kívül szilárdan rögzíthető. Ez a kialakítás biztosítja, hogy a feldolgozott ostya stabil és alátámasztott maradjon a folyamat során, és minimálisra csökkenti a kemence termikus környezetével való interferenciát.
A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű SiC konzolos lapáttermékeket biztosítson. Termékeinket gondosan terveztük és gyártjuk, hogy megfeleljenek a félvezetőgyártási folyamat szigorú követelményeinek. A szilícium-karbid konzolos lapát kiváló teljesítménye és megbízhatósága a félvezetőipar nélkülözhetetlen kulcselemévé teszi. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC tartalom | > 99,96% |
Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Testsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600 MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |