Lemezvevő

A Vetek Semiconductor élvágó grafitlemez szuszceptort biztosít. A SiC bevonat kiváló hőstabilitást, kiváló vegyszerállóságot és fokozott folyamat egyenletességet biztosít, optimális teljesítményt és megbízhatóságot biztosítva. Tapasztalja meg a hatékonyság és a pontosság következő szintjét a Vetek Semiconductor SiC bevonatú lemezszuszceptorjával.

Kérdés küldése

termékleírás

A Vetek Semiconductor's Graphite Disc Susceptor, egy nagy teljesítményű termék fejlett félvezető gyártási folyamatokhoz. Grafit tárcsás szuszceptorunkat úgy tervezték, hogy megfeleljen az ipar szigorú követelményeinek, és kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítson.

Ez a Graphite Disc Susceptor OEM az AIX G5 bolygóreaktor platformhoz.

A GaN-on-Si MOCVD-t LED-epitaxiális gyártáshoz használják, az Aixtron G5 reaktor pedig javítja a MOCVD platform hozamát és egyenletességét. Egy teljesen elforgatott szimmetrikus egységes mintázat öt 200 mm-es ostyán, szabványos vastagságú szilícium hordozót használva, és szabályozza a lapka hajlítási viselkedését, formalizálta azt, amire a szilíciumgyártáshoz szükségük volt.

A Vetek Semiconductor nagy tisztaságú grafitlemez szuszceptorja a GaN-on-Si MOCVD-hez, megbízható és költséghatékony megoldás a fejlett félvezető-gyártási folyamatokhoz.

Nagy tisztaságú grafit tárcsás szuszceptorunkat kifejezetten úgy tervezték, hogy megfeleljen a GaN-on-Si MOCVD eljárások követelményeinek. Kivételes hőstabilitása és hőállósága révén ellenáll a megerőltető, jellemzően 800°C-tól 1100°C-ig terjedő hőmérsékleti viszonyoknak, így optimális teljesítményt biztosít a leválasztási folyamat során.

A tárcsás szuszceptorunkban használt nagy tisztaságú grafitanyag kiváló vegyi ellenállást biztosít, így kompatibilis a GaN-on-Si MOCVD-ben általánosan használt ammóniával (NH3) és szerves fémprekurzorokkal. Ez szükségtelenné teszi további SiC bevonatokat, csökkentve a gyártási költségeket a teljesítmény csökkenése nélkül.

A Vetek Semiconductor nagy tisztaságú grafittárcsás szuszceptorja költséghatékony megoldást kínál minőségi kompromisszumok nélkül. Megbízhatósága, tartóssága és a GaN-on-Si MOCVD folyamatokkal való kompatibilitása a félvezetőgyártók preferált választásává teszi. Bízzon a Vetek Semiconductor-ban, hogy nagy teljesítményű grafitlemez szuszceptorokat szállítson a GaN-on-Si MOCVD gyártási igényeihez.