itthon > Termékek > Szilícium-karbid bevonat > MOCVD technológia > SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőtest
SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőtest
  • SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőtestSiC bevonatú grafit MOCVD fűtőtest

SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőtest

A VeTeK Semiconductor SiC Coating grafit MOCVD fűtőtestet gyárt, amely a MOCVD folyamat kulcsfontosságú eleme. A nagy tisztaságú grafit szubsztrátumon alapuló felületet nagy tisztaságú SiC bevonattal vonják be, hogy kiváló magas hőmérsékleti stabilitást és korrózióállóságot biztosítsanak. A VeTeK Semiconductor SiC Coating grafit MOCVD fűtőberendezése kiváló minőségű és magasan testreszabott termékszolgáltatásokkal ideális választás a MOCVD folyamat stabilitásának és vékonyréteg-leválasztási minőségének biztosítására. A VeTeK Semiconductor alig várja, hogy partnere lehessen.

Kérdés küldése

termékleírás

A MOCVD egy precíziós vékonyréteg-növekedési technológia, amelyet széles körben használnak félvezető, optoelektronikai és mikroelektronikai eszközök gyártásában. A MOCVD technológiával kiváló minőségű félvezető anyagú filmek rakhatók le hordozókra (pl. szilícium, zafír, szilícium-karbid stb.).


A MOCVD berendezésekben a SiC Coating grafit MOCVD fűtőberendezés egyenletes és stabil fűtési környezetet biztosít a magas hőmérsékletű reakciókamrában, lehetővé téve a gázfázisú kémiai reakció lezajlását, ezáltal a kívánt vékony filmréteget lerakva az alapfelületre.


SiC Coating graphite MOCVD heater working diagram

A VeTek Semiconductor's SiC Coating grafit MOCVD fűtőelem kiváló minőségű grafit anyagból készült SiC bevonattal. A SiC bevonatú grafit MOCVD fűtőelem az ellenállásfűtés elvén termel hőt.


A SiC Coating grafit MOCVD fűtőelem magja a grafit szubsztrát. Az áramot külső tápegységen keresztül vezetik be, és a grafit ellenállási jellemzőit használják fel a hőtermelésre a szükséges magas hőmérséklet eléréséhez. A grafit szubsztrátum hővezető képessége kiváló, amely gyorsan képes hőt vezetni és egyenletesen átadni a hőmérsékletet a teljes fűtőfelületre. Ugyanakkor a SiC bevonat nem befolyásolja a grafit hővezető képességét, lehetővé téve a fűtőelemnek, hogy gyorsan reagáljon a hőmérséklet változásaira, és egyenletes hőmérsékleteloszlást biztosítson.


A tiszta grafit magas hőmérsékleten hajlamos az oxidációra. A SiC bevonat hatékonyan elszigeteli a grafitot az oxigénnel való közvetlen érintkezéstől, ezáltal megakadályozza az oxidációs reakciókat és meghosszabbítja a fűtőelem élettartamát. Ezenkívül a MOCVD berendezések korrozív gázokat (például ammóniát, hidrogént stb.) használnak a kémiai gőzleválasztáshoz. A SiC bevonat kémiai stabilitása lehetővé teszi, hogy hatékonyan ellenálljon ezeknek a korrozív gázoknak az eróziójának és védje a grafit szubsztrátumot.


MOCVD Substrate Heater working diagram

Magas hőmérsékleten a bevonat nélküli grafit anyagok szénrészecskéket bocsáthatnak ki, ami befolyásolja a film lerakódási minőségét. A SiC bevonat felvitele gátolja a szénrészecskék felszabadulását, lehetővé téve a MOCVD folyamat tiszta környezetben történő végrehajtását, kielégítve a magas tisztasági követelményeket támasztó félvezetőgyártás igényeit.



Végül a SiC Coating grafit MOCVD fűtőtestet általában körkörös vagy más szabályos alakra tervezik, hogy egyenletes hőmérsékletet biztosítsanak az alapfelületen. A hőmérséklet egyenletessége kritikus fontosságú a vastag filmek egyenletes növekedéséhez, különösen a III-V vegyületek, például a GaN és az InP MOCVD epitaxiális növekedési folyamatában.


A VeTeK Semiconductor professzionális testreszabási szolgáltatásokat nyújt. Az iparágban vezető megmunkálási és SiC bevonatolási képességeink lehetővé teszik számunkra, hogy a legtöbb MOCVD berendezéshez megfelelő fűtőtesteket gyártsunk a MOCVD berendezésekhez.


A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
SiC bevonat Sűrűség
3,21 g/cm³
Keménység
2500 Vickers keménység (500g terhelés)
szemcseméret
2~10μm
Kémiai tisztaság
99,99995%
SiC bevonat Hőkapacitás
640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet
2700 ℃
Hajlító szilárdság
415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus
430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezetőképesség
300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE)
4,5×10-6K-1

VeTeK Semiconductor SiC Coating grafit MOCVD fűtőműhelyek

Graphite substrateMOCVD epitaxial growth process testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


Hot Tags: SiC bevonatú grafit MOCVD fűtő, Kína, Gyártó, Szállító, Gyári, Testreszabott, Vásárlás, Speciális, Tartós, Kínában gyártott
Kapcsolódó kategória
Kérdés küldése
Kérdését az alábbi űrlapon adja meg. 24 órán belül válaszolunk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept