A VeTek Semiconductor terméke, a szilícium-karbid (SiC Single Crystal Growth Process) tantál-karbid (TaC) bevonattermékei a szilícium-karbid (SiC) kristályok növekedési határfelületével kapcsolatos kihívásokat, különösen a kristály szélén fellépő átfogó hibákat kezelik. A TaC bevonattal a kristálynövekedés minőségének javítására törekszünk, és növeljük a kristály középpontjának effektív területét, ami elengedhetetlen a gyors és vastag növekedés eléréséhez.
A TaC bevonat alapvető technológiai megoldás a kiváló minőségű SiC egykristály növesztési folyamathoz. Sikeresen fejlesztettünk ki egy kémiai gőzleválasztást (CVD) alkalmazó TaC bevonat technológiát, amely nemzetközileg is fejlett szintet ért el. A TaC kivételes tulajdonságokkal rendelkezik, beleértve a 3880 °C-ig terjedő magas olvadáspontot, kiváló mechanikai szilárdságot, keménységet és hősokkállóságot. Ezenkívül jó kémiai tehetetlenséget és termikus stabilitást mutat, amikor magas hőmérsékletnek és olyan anyagoknak van kitéve, mint az ammónia, hidrogén és szilíciumtartalmú gőz.
A VeTek Semiconductor tantál-karbid (TaC) bevonata megoldást kínál a SiC Single Crystal Growth Process élekkel kapcsolatos problémáinak kezelésére, javítva a növekedési folyamat minőségét és hatékonyságát. Fejlett TaC bevonattechnológiánkkal célunk a harmadik generációs félvezetőipar fejlődésének támogatása és az importált kulcsanyagoktól való függés csökkentése.
TaC bevonatos tégely, magtartó TaC bevonattal, TaC bevonat vezetőgyűrű fontos részei a SiC és AIN egykristályos kemencéknek PVT módszerrel.
- Magas hőmérsékletállóság
-Nagy tisztaságú, nem szennyezi a SiC nyersanyagokat és a SiC egykristályokat.
- Ellenáll az Al-gőznek és az N2-korróziónak
-Magas eutektikus hőmérséklet (AlN-nel) a kristály-előkészítési ciklus lerövidítésére.
-Újrahasznosítható (200 óráig), javítja az ilyen egykristályok előállításának fenntarthatóságát és hatékonyságát.
A TaC bevonat fizikai tulajdonságai | |
Sűrűség | 14,3 (g/cm³) |
Fajlagos emissziós tényező | 0.3 |
Hőtágulási együttható | 6,3 10-6/K |
Keménység (HK) | 2000 HK |
Ellenállás | 1×10-5 Ohm*cm |
Hőstabilitás | <2500 ℃ |
A grafit mérete megváltozik | -10-20um |
Bevonat vastagsága | ≥20um tipikus érték (35um±10um) |
A VeTek Semiconductor a vezető TaC bevonatú grafit ostya hordozó gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk SiC és TaC bevonattal. TaC bevonatú grafit lapkahordozónk magasabb hőmérséklet- és kopásállósággal rendelkezik. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése