Kína Tömör szilícium-karbid Gyártó, szállító, gyár

A VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide fontos kerámiakomponens a plazmamarató berendezésekben, a szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) a maratóberendezés alkatrészei tartalmazzákfókuszáló gyűrűk, gázzuhanyfej, tálca, élgyűrűk stb. A szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) klór- és fluortartalmú maratógázokkal szembeni alacsony reakciókészsége és vezetőképessége miatt ideális anyag plazmamarató berendezések fókuszgyűrűihez és egyéb alkatrészek.

Például a fókuszgyűrű fontos rész, amely az ostyán kívül van elhelyezve, és közvetlenül érintkezik az ostyával, mivel feszültséget ad a gyűrűre a gyűrűn áthaladó plazma fókuszálásához, ezáltal a plazmát az ostyára fókuszálja, hogy javítsa az ostya egyenletességét. feldolgozás. A hagyományos fókuszgyűrű szilikonból, illkvarc, vezetőképes szilícium, mint gyakori fókuszgyűrűs anyag, közel a szilícium lapkák vezetőképességéhez, de hiánya gyenge maratási ellenállás a fluortartalmú plazmában, maratási gépalkatrészek anyagában gyakran használt egy ideig, komoly lesz korróziós jelenség, amely jelentősen csökkenti a termelés hatékonyságát.

Svoltak SiC Focus RingMűködési elv：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszgyűrű összehasonlítása:

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszáló gyűrű összehasonlítása
Tétel	És	CVD SiC
Sűrűség (g/cm³)	2.33	3.21
Sávköz (eV)	1.12	2.3
Hővezetőképesség (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Rugalmassági modulus (GPa)	150	440
Keménység (GPa)	11.4	24.5
Kopás- és korrózióállóság	Szegény	Kiváló

A VeTek Semiconductor fejlett szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alkatrészeket kínál, például SiC fókuszáló gyűrűket a félvezető berendezésekhez. Szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrűink felülmúlják a hagyományos szilíciumot mechanikai szilárdság, vegyszerállóság, hővezető képesség, magas hőmérsékleti tartósság és ionmaratással szembeni ellenállás tekintetében.

ÉsC fókuszáló gyűrűink fő jellemzői a következők::

Nagy sűrűség a csökkentett marási sebességért.

Kiváló szigetelés nagy sávszélességgel.

Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható.

Kiváló mechanikai ütésállóság és rugalmasság.

Magas keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

felhasználásával gyártvaplazmával javított kémiai gőzleválasztás (PECVD)ÉsC fókuszáló gyűrűink megfelelnek a félvezetőgyártás maratási folyamatainak növekvő igényeinek. Úgy tervezték, hogy ellenálljanak a nagyobb plazmateljesítménynek és -energiának, különösen a belső térbenkapacitív csatolású plazma (CCP)rendszerek.

A VeTek Semiconductor SiC fókuszáló gyűrűi kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak a félvezető eszközök gyártásában. Válassza SiC alkatrészeinket a kiváló minőség és hatékonyság érdekében.

View as

<1 2 >

Professzionális Tömör szilícium-karbid gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Tömör szilícium-karbid terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.