Félvezető hőpermetezési technológia

A félvezető hőpermetezési technológia olyan fejlett eljárás, amely olvadt vagy félig olvadt állapotban lévő anyagokat szór a szubsztrátum felületére, hogy bevonatot képezzen. Ezt a technológiát széles körben alkalmazzák a félvezetőgyártás területén, főként olyan bevonatok létrehozására, amelyek a hordozó felületén speciális funkciókkal rendelkeznek, mint például vezetőképesség, szigetelés, korrózióállóság és oxidációállóság. A termikus permetezési technológia fő előnyei közé tartozik a nagy hatásfok, a szabályozható bevonatvastagság és a bevonat jó tapadása, így különösen fontos a nagy pontosságot és megbízhatóságot igénylő félvezetőgyártási folyamatban.

Termikus permetezési technológia alkalmazása félvezetőkben

Plazmasugaras maratás (száraz maratás)

Általában az izzító kisülés alkalmazását jelenti töltött részecskéket, például plazmát és elektronokat, valamint nagy kémiailag aktív semleges atomokat és molekulákat és szabad gyököket tartalmazó plazmaaktív részecskék előállítására, amelyek a maratandó részre diffundálnak, reagálnak a maratott anyaggal, illékony anyagokat képeznek. termékek és eltávolításra kerülnek, ezzel teljessé válik a mintaátvitel maratási technológiája. Ez egy pótolhatatlan eljárás a finom minták nagy pontosságú átvitelének megvalósításához a fotolitográfiás sablonokról az ostyákra az ultranagy méretű integrált áramkörök gyártása során.

Számos aktív szabad gyök, például Cl és F keletkezik. Amikor félvezető eszközöket marnak, korrodálják a berendezés más részeinek belső felületét, beleértve az alumíniumötvözeteket és a kerámia szerkezeti részeket. Ez az erős erózió nagyszámú részecskét termel, ami nemcsak a gyártóberendezések gyakori karbantartását igényli, hanem súlyos esetekben a maratási folyamatkamra meghibásodását és a készülék károsodását is okozza.

Az Y2O3 nagyon stabil kémiai és termikus tulajdonságokkal rendelkező anyag. Olvadáspontja jóval 2400 ℃ felett van. Erős korrozív környezetben stabil maradhat. Plazmabombázással szembeni ellenállása nagymértékben meghosszabbíthatja az alkatrészek élettartamát, és csökkentheti a részecskék számát a maratókamrában.

A fő megoldás a nagy tisztaságú Y2O3 bevonat permetezése a maratókamra és más kulcselemek védelme érdekében.