Wafer kezelő robotkar

A Vetek Semiconductor professzionális a hőszóró technológiával készült ostyakezelő robotkarban.

1. A termikus permetezési technológia hatékonyan javíthatja a robotkar kopásállóságát. Az ostyakezelő robotkar működés közben gyakran érintkezik lapokkal és egyéb berendezésekkel. Ez a nagyfrekvenciás érintkezés és mozgás könnyen a mechanikai alkatrészek kopását okozhatja. Kopásálló anyagok szórásával a robotkar felületére nagymértékben csökkenthető az alkatrészek kopása, meghosszabbítható a robotkar élettartama, csökkenthető a karbantartási költség.

2. A korrózióállóság javítása a termikus permetezési technológia jelentős előnye is. A félvezető gyártási folyamat során a robotkarnak korrozív gázokkal és kémiai reagensekkel teli környezetben kell működnie. Ezek a vegyszerek korrodálhatják a robotkart, ami befolyásolja annak teljesítményét és pontosságát. A termikus permetezési technológia sűrű korróziógátló bevonatot képezhet a robotkar felületén, hatékonyan megakadályozva a korrozív anyagok behatolását, ezáltal biztosítva a robotkar stabil működését zord környezetben.

3. A termikus permetezési technológia a robotkar termikus stabilitását is javíthatja. A félvezető gyártási folyamatban bizonyos folyamatok magas hőmérsékletet generálnak, és a robotkarnak magas hőmérsékletű környezetben is precízen kell működnie. A termikus permetezési technológia biztosítja, hogy a robotkar ne deformálódjon vagy leépüljön magas hőmérsékleten azáltal, hogy a robotkar felületét magas hőmérsékleti stabilitású anyagokkal vonja be, ezáltal javítva a teljes gyártósor megbízhatóságát és pontosságát.

4. Az antisztatikus bevonat felvitele tovább javítja a robotkar teljesítményét. Az ostyák nagyon érzékenyek a statikus elektromosságra, és a statikus elektromosság felhalmozódása az ostya felületének szennyeződését vagy az elektronikus eszközök károsodását okozhatja. Termikus permetezési technológiával antisztatikus bevonat alakítható ki a robotkar felületén, amely hatékonyan csökkenti a statikus elektromosság képződését, megvédi az ostyát a statikus elektromosság okozta sérülésektől, valamint biztosítja a termék minőségét és biztonságát.

5. A termikus permetezési technológia a robotkar működés közbeni részecskeszennyeződését is csökkentheti. A félvezetőgyártás során minden apró szemcseszennyeződés befolyásolhatja az ostya minőségét. Termikus permetezési technológia alkalmazásával a robotkar felületén sima és sűrű bevonat alakítható ki, csökkentve a szemcsék leválását, fenntartva a gyártási környezet tisztaságát, ezáltal javítva a termék hozamát.