CVD SiC bevonatfúvóka
  • CVD SiC bevonatfúvókaCVD SiC bevonatfúvóka

CVD SiC bevonatfúvóka

A Vetek Semiconductor CVD SiC bevonatfúvókái az LPE SiC epitaxiás eljárásban használt kulcsfontosságú komponensek a félvezetőgyártás során a szilícium-karbid anyagok felhordására. Ezek a fúvókák jellemzően magas hőmérsékletű és kémiailag stabil szilícium-karbid anyagból készülnek, hogy biztosítsák a stabilitást kemény feldolgozási környezetben. Az egyenletes felhordásra tervezték, kulcsszerepet játszanak a félvezető alkalmazásokban termesztett epitaxiális rétegek minőségének és egyenletességének ellenőrzésében. Várjuk, hogy hosszú távú együttműködést alakítsunk ki Önnel.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconductor CVD SiC bevonat-tartozékok speciális gyártója epitaxiális eszközökhöz, mint például a CVD SiC Coating félhold alkatrészek és a hozzá tartozó CVD SiC Coating Nozzels. Üdvözöljük, érdeklődjön tőlünk.


A PE1O8 egy teljesen automatikus patronok közötti rendszer, amelyet kezelni terveztekSiC ostyák200 mm-ig. A formátum 150 és 200 mm között állítható, minimalizálva a szerszámleállási időt. A fűtési fokozatok csökkentése növeli a termelékenységet, míg az automatizálás csökkenti a munkát, javítja a minőséget és az ismételhetőséget. A hatékony és költség-versenyképes epitaxiás folyamat biztosítása érdekében három fő tényezőt ismertetnek: 


●  gyors folyamat;

● nagy egyenletes vastagság és adalékolás;

●  minimalizálja a hibák kialakulását az epitaxia során. 


A PE1O8-ban a kis grafittömeg és az automatikus be-/ürítő rendszer lehetővé teszi, hogy egy szabványos futást kevesebb, mint 75 perc alatt teljesítsen (a szabványos 10 μm-es Schottky dióda készítmény 30 μm/h növekedési sebességet használ). Az automata rendszer lehetővé teszi a be- és kirakodást magas hőmérsékleten. Ennek eredményeként a felfűtési és hűtési idő rövid, míg a sütési lépés le van tiltva. Ez az ideális állapot lehetővé teszi a valódi adalékolatlan anyagok növekedését.


A szilícium-karbid epitaxia folyamatában a CVD SiC bevonatfúvókák döntő szerepet játszanak az epitaxiális rétegek növekedésében és minőségében. Itt található a fúvókák szerepének kibővített magyarázataszilícium-karbid epitaxia:


CVD SiC Coating Nozzle working diagram

● Gázellátás és -szabályozás: A fúvókák az epitaxia során szükséges gázkeverék szállítására szolgálnak, beleértve a szilíciumforrású gázt és a szénforrás gázt is. A fúvókákon keresztül a gázáramlás és az arányok pontosan szabályozhatók az epitaxiális réteg egyenletes növekedése és a kívánt kémiai összetétel biztosítása érdekében.


● Hőmérséklet-szabályozás: A fúvókák az epitaxia reaktoron belüli hőmérséklet szabályozásában is segítenek. A szilícium-karbid epitaxiában a hőmérséklet kritikus tényező, amely befolyásolja a növekedési sebességet és a kristály minőségét. A fúvókákon keresztül hő- vagy hűtőgáz biztosításával az epitaxiális réteg növekedési hőmérséklete az optimális növekedési feltételekhez igazítható.


● Gázáramlás elosztása: A fúvókák kialakítása befolyásolja a gáz egyenletes eloszlását a reaktoron belül. Az egyenletes gázáramlás-eloszlás biztosítja az epitaxiális réteg egyenletességét és egyenletes vastagságát, elkerülve az anyagminőség egyenetlenségével kapcsolatos problémákat.


● A szennyeződések szennyeződésének megelőzése: A fúvókák megfelelő kialakítása és használata segíthet megelőzni a szennyeződések szennyeződését az epitaxia során. A megfelelő fúvókakialakítás minimálisra csökkenti a külső szennyeződések reaktorba jutásának valószínűségét, biztosítva az epitaxiális réteg tisztaságát és minőségét.


CVD SIC BEVONAT FILM KRISTÁLY SZERKEZET:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:


A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan Tipikus érték
Kristályszerkezet FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
SiC bevonat Sűrűség 3,21 g/cm³
Keménység 2500 Vickers keménység (500g terhelés)
szemcseméret 2~10μm
Kémiai tisztaság 99,99995%
Hőkapacitás 640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet 2700 ℃
Hajlító szilárdság 415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezetőképesség 300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE) 4,5×10-6K-1


VeTekSemCVD SiC bevonatfúvókákGyártó üzletek:


Graphite epitaxial substrateSemiconductor EquipmentGraphite ring assemblySemiconductor process equipment

Hot Tags: CVD SiC bevonatfúvóka, Kína, gyártó, szállító, gyári, testreszabott, SiC bevonatú fúvóka, fejlett, tartós, Kínában gyártott
Kapcsolódó kategória
Kérdés küldése
Kérdését az alábbi űrlapon adja meg. 24 órán belül válaszolunk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept