SiC bevonatú grafit hordó szuszceptor az EPI-hez

A VeTek Semiconductor professzionális gyártója, szállítója és exportőre az EPI-hez készült SiC bevonatú grafithordó szuszceptorhoz. A professzionális csapat és a vezető technológia által támogatott VeTek Semiconductor kiváló minőséget tud nyújtani elfogadható áron. Üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat további megbeszélések céljából.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconductor kínai gyártó és beszállító, aki sok éves tapasztalattal elsősorban SiC bevonatú grafithordó szuszceptort gyárt az EPI számára. Remélem, hogy üzleti kapcsolatot építhet ki Önnel. Az EPI (Epitaxy) kritikus folyamat a fejlett félvezetők gyártásában. Ez magában foglalja vékony anyagrétegek lerakódását egy szubsztrátumra, hogy összetett eszközstruktúrákat hozzanak létre. Az EPI-hez készült SiC bevonatú grafithordó szuszceptorokat kiváló hővezető képességük és magas hőmérsékletekkel szembeni ellenállásuk miatt gyakran használják szuszceptorként az EPI reaktorokban. A CVD-SiC bevonattal jobban ellenáll a szennyeződéseknek, eróziónak és hősokknak. Ez a szuszceptor hosszabb élettartamát és jobb filmminőséget eredményez.

SiC bevonatú grafit hordó szuszceptorunk előnyei:

Csökkentett szennyeződés: A SiC inert természete megakadályozza, hogy szennyeződések tapadjanak a szuszceptor felületére, csökkentve a lerakódott filmek szennyeződésének kockázatát.

Fokozott erózióállóság: A SiC lényegesen jobban ellenáll az eróziónak, mint a hagyományos grafit, ami hosszabb élettartamot eredményez a szuszceptor számára.

Továbbfejlesztett hőstabilitás: A SiC kiváló hővezető képességgel rendelkezik, és jelentős torzulás nélkül ellenáll a magas hőmérsékletnek.

Fokozott fóliaminőség: A jobb hőstabilitás és a csökkentett szennyeződés jobb minőségű leválasztott filmeket eredményez, jobb egyenletességgel és vastagságszabályozással.

Alkalmazások:

A SiC bevonatú grafithordó szuszceptorokat széles körben használják különféle EPI alkalmazásokban, beleértve:

GaN alapú LED-ek

Teljesítmény elektronika

Optoelektronikai eszközök

Nagyfrekvenciás tranzisztorok

Érzékelők

A SiC bevonatú grafithordó szuszceptor termékparamétere

Izosztatikus grafit fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Mértékegység	Tipikus érték
Testsűrűség	g/cm³	1.83
Keménység	HSD	58
Elektromos ellenállás	mΩ.m	10
Hajlító szilárdság	MPa	47
Nyomószilárdság	MPa	103
Szakítószilárdság	MPa	31
Young's Modulus	GPa	11.8
Hőtágulás (CTE)	10-6K-1	4.6
Hővezető	W·m-1·K-1	130
Átlagos szemcseméret	μm	8-10
Porozitás	%	10
Ash tartalom	ppm	≤10 (tisztítás után)

Megjegyzés: Bevonás előtt az első tisztítást végezzük, a bevonat után pedig a második tisztítást.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Tipikus érték
Kristályos szerkezet	FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség	3,21 g/cm³
Keménység	2500 Vickers keménység (500 g terhelés)
Szemcseméret	2~10μm
Kémiai tisztaság	99,99995%
Hőkapacitás	640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
Hajlító szilárdság	415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezető	300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE)	4,5×10-6K-1