SiC bevonatú támogatás az LPE PE2061S-hez

A VeTek Semiconductor az LPE PE2061S vezető SiC bevonatú támasztéka Kínában. Sok éve foglalkozunk SiC bevonatanyagokkal. Kifejezetten LPE szilícium epitaxiás reaktorhoz tervezett SiC bevonatú támogatást kínálunk az LPE PE2061S számára. Ez a SiC bevonatú LPE PE2061S tartó a hordó szuszceptor alja. Ellenáll 1600 Celsius fokos magas hőmérsékletnek, meghosszabbítja a grafit alkatrész élettartamát. Üdvözöljük, küldje el nekünk kérdését.

Kérdés küldése

termékleírás

Az LPE PE2061S kiváló minőségű SiC bevonatú támogatását a kínai VeTek Semiconductor gyártó kínálja. Vásároljon SiC bevonatos tartót az LPE PE2061S-hez, amely kiváló minőségű közvetlenül alacsony áron.

A VeTeK Semiconductor SiC bevonatú tartó az LPE PE2061S-hez szilícium epitaxia berendezésben, egy hordó típusú szuszceptorral együtt használva az epitaxiális lapkák (vagy szubsztrátok) megtámasztására és megtartására az epitaxiális növekedési folyamat során.

Az alsó lemezt főként a hordós epitaxiális kemencével használják, a hordós epitaxiális kemencének nagyobb reakciókamrája és nagyobb termelési hatékonysága van, mint a lapos epitaxiális szuszceptor.

A tartó kerek lyukú kialakítású, és elsősorban a reaktoron belüli kipufogónyílásra szolgál.

Az LPE PE2061S VeTeK Semiconductor SiC bevonatú támasztéka folyadékfázisú epitaxiás (LPE) reaktorrendszerhez való, nagy tisztaságú, egyenletes bevonattal, magas hőmérsékleti stabilitással, korrózióállósággal, nagy keménységgel, kiváló hővezető képességgel, alacsony hőtágulási együtthatóval és kémiai tehetetlenséggel .

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Tipikus érték
Kristályos szerkezet	FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség	3,21 g/cm³
Keménység	2500 Vickers keménység (500g terhelés)
Szemcseméret	2~10μm
Kémiai tisztaság	99,99995%
Hőkapacitás	640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
Hajlító szilárdság	415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezető	300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE)	4,5×10-6K-1