SiC bevonatú grafittégelyes terelő

A VeTek Semiconductor sok éves tapasztalattal rendelkezik a kiváló minőségű SiC bevonatú grafittégelyes terelők gyártásában. Saját laboratóriumunk van az anyagkutatáshoz és -fejlesztéshez, kiváló minőségben támogathatjuk egyedi tervezéseit. Üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat további megbeszélésekhez.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconducotr egy professzionális kínai SiC bevonatú grafittégely terelő gyártó és szállító. A SiC bevonatú grafittégely terelő a monokristályos kemencék berendezéseinek kulcsfontosságú eleme, amelynek feladata az olvadt anyag zökkenőmentes elvezetése a tégelyből a kristálynövekedési zónába, biztosítva a monokristálynövekedés minőségét és alakját.

SiC bevonatú grafittégelyes terelőnk funkciói a következők:

Áramlásszabályozás: Irányítja az olvadt szilícium áramlását a Czochralski-folyamat során, biztosítva az olvadt szilícium egyenletes eloszlását és szabályozott mozgását a kristálynövekedés elősegítése érdekében.

Hőmérsékletszabályozás: Segít szabályozni a hőmérséklet-eloszlást az olvadt szilíciumban, optimális feltételeket biztosítva a kristálynövekedéshez, és minimalizálja a hőmérsékleti gradienseket, amelyek befolyásolhatják a monokristályos szilícium minőségét.

Szennyeződés-megelőzés: Az olvadt szilícium áramlásának szabályozásával segít megelőzni a tégelyből vagy más forrásokból származó szennyeződést, fenntartva a félvezető alkalmazásokhoz szükséges nagy tisztaságot.

Stabilitás: A deflektor hozzájárul a kristálynövekedési folyamat stabilitásához azáltal, hogy csökkenti a turbulenciát és elősegíti az olvadt szilícium egyenletes áramlását, ami elengedhetetlen az egyenletes kristálytulajdonságok eléréséhez.

A kristálynövekedés elősegítése: Az olvadt szilícium ellenőrzött vezetésével a deflektor elősegíti az egykristály növekedését az olvadt szilíciumból, ami elengedhetetlen a félvezetőgyártásban használt kiváló minőségű monokristályos szilícium lapkák előállításához.

A SiC bevonatú grafittégely deflektor termékparamétere

Izosztatikus grafit fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Mértékegység	Tipikus érték
Testsűrűség	g/cm³	1.83
Keménység	HSD	58
Elektromos ellenállás	mΩ.m	10
Hajlító szilárdság	MPa	47
Nyomószilárdság	MPa	103
Szakítószilárdság	MPa	31
Young's Modulus	GPa	11.8
Hőtágulás (CTE)	10-6K-1	4.6
Hővezető	W·m-1·K-1	130
Átlagos szemcseméret	μm	8-10
Porozitás	%	10
Ash tartalom	ppm	≤10 (tisztítás után)

Megjegyzés: Bevonás előtt az első tisztítást végezzük, a bevonat után pedig a második tisztítást.

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Tipikus érték
Kristályos szerkezet	FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség	3,21 g/cm³
Keménység	2500 Vickers keménység (500 g terhelés)
Szemcseméret	2~10μm
Kémiai tisztaság	99,99995%
Hőkapacitás	640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
Hajlító szilárdság	415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezető	300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE)	4,5×10-6K-1