szilícium-karbid kerámia bevonatú grafit fűtőtest

VeTek Semiconductor Szilícium-karbid kerámia bevonatú grafit melegítőötvözi a grafit kiváló elektromos és hővezető képességét a szilícium-karbon kerámia bevonat magas hőmérséklet-állóságával, korrózióállóságával és kopásállóságával, és kemény félvezető-gyártási környezetekhez készült. 

Szilícium-karbid kerámia bevonatú grafit fűtőtestfőként vákuumbevonó (bepárló) berendezésekben használják, és az általánosan használt módszerek a PCD (plazma kémiai szárítás) és a PVD (fizikai gőzleválasztás). Ez a termék fontos szerepet játszott a technológiai fejlődés előmozdításában és a gyártási hatékonyság javításában a félvezetőiparban.Őszintén várjuk az Önnel való további együttműködést.

A szilícium-karbid kerámia bevonatú grafitfűtő anyaga és szerkezeti jellemzői a következők:

Grafit szubsztrátum: A grafit magas hővezető képességéről és alacsony hőtágulási együtthatójáról ismert. Gyorsan reagál a hőmérséklet változásaira, és magas hőmérsékleten is megőrzi szerkezeti stabilitását.

Szilícium-karbon kerámia bevonat: A SiC bevonatot egyenletesen vonják be a grafit felületére kémiai gőzleválasztással vagy más fejlett eljárásokkal. A SiC rendkívül nagy keménységgel és kémiai korrózióállósággal rendelkezik, amely megvédheti a grafit hordozót a magas hőmérsékletű oxidációtól és a korrozív környezettől.

A szilícium-karbid kerámia bevonatú grafitfűtő speciális termékszerkezeti kialakítása határozza megennek a terméknek a pótolhatatlan előnyei a félvezető feldolgozási folyamatban:

Hatékony és egyenletes fűtés:

Hővezetőképesség: A grafit magas hővezető képessége lehetővé teszi, hogy a fűtőelem gyorsan elérje és fenntartsa a kívánt hőmérsékletet, a SiC bevonat pedig egyenletes hőeloszlást biztosít. Ez különösen fontos a pontos hőmérsékletszabályozást igénylő félvezető eljárásoknál, mint például a gyors hőfeldolgozás (RTP) és a kémiai gőzleválasztás (CVD).

A hőmérséklet egyenletessége: Az egyenletes hőeloszlás révén a szilícium-karbid kerámia bevonatú grafitfűtő hatékonyan csökkentheti a hőfeszültséget és a hőmérsékleti gradienst, biztosítva a félvezető lapkák konzisztenciáját és minőségi stabilitását a teljes melegítési folyamat során.

Korrózió elleni védelem:

Vegyi ellenállás: A SiC bevonat kémiai korrózióállósága lehetővé teszi, hogy a fűtőberendezés stabilan és hosszú ideig működjön korrozív gáz- és vegyi környezetben, elkerülve a grafithordozó károsodását. Ez a tulajdonság különösen kritikus az olyan eljárásokban, mint a kémiai gőzleválasztás (CVD) és a plazmanövelt kémiai gőzleválasztás (PECVD).

Oxidációs ellenállás: Magas hőmérsékleten a SiC bevonat megakadályozhatja a grafit szubsztrát oxidációját, meghosszabbíthatja a fűtőelem élettartamát, és csökkentheti a berendezés karbantartásának gyakoriságát és költségét.

Csökkentse a részecskék szennyeződését:

Felületi stabilitás: A SiC bevonat nemcsak kopásálló, hanem megakadályozza, hogy a részecskék leesjenek az anyag felületéről a hőciklus vagy a kémiai reakciók miatt, ezáltal csökkentve a félvezető gyártás során előforduló részecskék szennyeződésének kockázatát, és magas tisztaságú folyamatkörnyezetet biztosít.

Növelje a folyamatok megbízhatóságát és hatékonyságát:

Hosszú élettartamú kialakítás: A grafit mechanikai szilárdságának és a SiC bevonat kopásállóságának kombinációja miatt a szilícium-karbid kerámia bevonatú grafitfűtő hosszú ideig képes fenntartani a magas hatásfokú működést zord folyamatkörülmények között, jelentősen javítva a berendezés általános megbízhatóságát.

Hatékony energiafelhasználás: A grafit magas hővezető képessége és a SiC bevonat magas hőmérsékleti stabilitása lehetővé teszi, hogy a fűtőberendezés csökkentse az energiafogyasztást, miközben javítja a hőmérséklet-szabályozás pontosságát, ezáltal javítva a félvezetőgyártás általános hatékonyságát.

Alapvető fizikai tulajdonságaiSzilícium-karbid kerámia bevonatú grafit melegítő:

VeTek SemiconductorSzilícium-karbid kerámia bevonatú grafit melegítőüzletek:

A félvezető chipek epitaxiás ipari láncának áttekintése:

/egyéb-folyamat