Szilícium-karbid kerámia bevonat

Vetek Semiconductor Szilícium-karbid kerámia bevonategy rendkívül kemény és kopásálló szilícium-karbid (SiC) anyagból készült nagy teljesítményű védőbevonat, amely kiváló kémiai korrózióállóságot és magas hőmérsékleti stabilitást biztosít. Ezek a tulajdonságok kulcsfontosságúak a félvezetőgyártásban, ezért a szilícium-karbid kerámia bevonatot széles körben használják a félvezetőgyártó berendezések kulcsfontosságú alkatrészein.

A Vetek Semiconductor szilícium-karbid kerámia bevonat különleges szerepe a félvezetőgyártásbanalábbiak szerint:

Növelje a berendezés tartósságát: A szilícium-karbid kerámia bevonat rendkívül nagy keménységével és kopásállóságával kiváló felületvédelmet biztosít a félvezető gyártó berendezések számára. A szilícium-karbid kerámia bevonat különösen magas hőmérsékletű, erősen korrozív folyamatkörnyezetekben, például kémiai gőzleválasztásban (CVD) és plazmamaratásban képes hatékonyan megelőzni a berendezés felületének kémiai erózió vagy fizikai kopás miatti károsodását, ezáltal jelentősen meghosszabbítja a készülék élettartamát. a berendezések és a gyakori csere és karbantartás okozta állásidő csökkentése.

A folyamat tisztaságának javítása: A félvezető gyártási folyamat során minden apró szennyeződés a termék meghibásodását okozhatja. A szilícium-karbid kerámia bevonat kémiai tehetetlensége lehetővé teszi, hogy szélsőséges körülmények között is stabil maradjon, megakadályozza, hogy az anyag részecskék vagy szennyeződések szabaduljanak fel, és biztosítja a környezet tisztaságát a folyamat során. Ez különösen fontos a nagy pontosságot és nagy tisztaságot igénylő gyártási lépéseknél, mint például a PECVD és az ionimplantáció.

Optimalizálja a hőkezelést: A magas hőmérsékletű félvezető feldolgozásnál, mint például a gyors hőfeldolgozás (RTP) és az oxidációs eljárások, a szilícium-karbid kerámia bevonat magas hővezető képessége egyenletes hőmérsékleteloszlást tesz lehetővé a berendezésen belül. Ez segít csökkenteni a hőmérséklet-ingadozások által okozott hőfeszültséget és anyagdeformációt, ezáltal javítja a termék gyártási pontosságát és konzisztenciáját.

Komplex folyamatkörnyezet támogatása: A komplex atmoszféra szabályozást igénylő folyamatokban, mint például az ICP maratási és PSS maratási eljárások, a szilícium-karbid kerámia bevonatú fűtőtest stabilitása és oxidációállósága biztosítja a berendezés stabil teljesítményét hosszú távú működés során, csökkentve az anyagromlás vagy a berendezés kockázatát. környezeti változások okozta károk.

Vetek Semiconductora nagy teljesítményű gyártásra és szállításra összpontosítSzilícium-karbid kerámia bevonat, és elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára.Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Alapvető fizikai tulajdonságaiSzilícium-karbid kerámia bevonat:

VeTek félvezető szilícium-karbid kerámia bevonat boltok:

A félvezető chipek epitaxiás ipari láncának áttekintése: