szilícium-karbid kerámia bevonatú fűtőtest

VeTek SemiconductorA szilícium-karbid kerámia bevonatfűtő egy magas hőmérsékletre és zord környezetre tervezett fűtőelem. Egy réteg szilícium-szén kerámia bevonatot (SiC) von be a fűtőelem felületére, hogy kiváló hőállóságot, korrózióállóságot és hővezető képességet biztosítson a berendezésnek. 

Szilícium-karbid kerámia bevonatú melegítőfőként vákuumbevonó (párologtató) berendezésekben használják. Az általánosan használt módszerek a PCD (plazma kémiai szárítás) és a PVD (fizikai gőzleválasztás), amelyeket széles körben alkalmaznak a félvezetőgyártásban és más nagy igényű ipari alkalmazásokban.

A szilícium-karbid kerámia bevonatfűtő nagy teljesítményű bevonat kialakításával kombinálva,kiváló fűtési megoldást nyújthat magas hőmérsékletű folyamatokhoz.

Kiváló hővezető képesség: A SiC anyag kiváló hővezető képességgel rendelkezik, ami biztosítja, hogy a fűtőberendezés egyenletes hőeloszlást érjen el a munkaterületen és csökkentse a hőmérsékleti gradienseket.

Egyenletes hőeloszlás biztosítása: A szilícium-karbid kerámia bevonatfűtő a SiC anyag magas hővezető képességét használja, hogy egyenletes hőmérséklet-eloszlást érjen el a teljes fűtési területen. Ez kritikus fontosságú a félvezető lapkák egyenletes hőkezelésének biztosításához különböző magas hőmérsékletű folyamatokban, mint például a gyors termikus feldolgozás (RTP), diffúzió és oxidáció, elkerülve a helyi túlmelegedés vagy az egyenetlen hőmérséklet által okozott termékhibákat.

Magas hőmérséklet tolerancia: A SiC bevonat lehetővé teszi, hogy a fűtőtest ellenálljon rendkívül magas hőmérsékletnek, jellemzően 1600 °C-ig, és alkalmas különféle magas hőmérsékletű feldolgozási folyamatokra.

Javítsa a hőállóságot: Mivel a bevonat rendkívül magas hőmérsékletnek is ellenáll, jól teljesít olyan folyamatokban, amelyek hosszú távú, magas hőmérsékletű működést igényelnek. Például a kémiai gőzleválasztásos (CVD) eljárásokban a szilícium-karbid kerámia bevonatfűtő biztosítja a berendezés hosszú távú stabil működését magas hőmérsékleten, és konzisztens fűtési teljesítményt biztosít, ezáltal javítja a folyamat megismételhetőségét és megbízhatóságát.

Kémiai korrózióállóság: A SiC bevonat rendkívül jól ellenáll a savnak, lúgnak és korrozív gázoknak, és hosszú ideig stabil tud maradni összetett kémiai atmoszféra környezetben, meghosszabbítva a berendezés élettartamát. 

A berendezés élettartamának meghosszabbítása: A SiC bevonat kiváló oxidáció- és korrózióállósággal rendelkezik, és hatékonyan ellenáll a kémiai eróziónak és oxidációnak magas hőmérsékleten. Ez nagyon kritikus a félvezető gyártási folyamatban, különösen olyan környezetben, amely korrozív gázokat és vegyszereket kezel. A bevonat védő hatása jelentősen meghosszabbíthatja a fűtőberendezés élettartamát, és csökkentheti a berendezés cseréjének gyakoriságát és a karbantartási költségeket.

A szilícium-karbid kerámia bevonatú melegítő alapvető fizikai tulajdonságai:

VeTek Semiconductor szilícium-karbid kerámia bevonat fűtőműhelyek:

A VeTek félvezető chip epitaxia ipari láncának áttekintése: