A VeTek Semiconductor az Ön innovatív partnere a félvezető-feldolgozás területén. Félvezető minőségű szilícium-karbid kerámia anyagkombinációk, alkatrészgyártási képességeink és alkalmazásmérnöki szolgáltatásaink kiterjedt portfóliójával jelentős kihívások leküzdésében tudunk segíteni. A mérnöki műszaki szilícium-karbid kerámiákat rendkívüli anyagteljesítményük miatt széles körben alkalmazzák a félvezetőiparban. A VeTek Semiconductor ultra-tiszta szilícium-karbid kerámiáját gyakran használják a félvezetőgyártás és -feldolgozás teljes ciklusa során.
A VeTek Semiconductor tervezett kerámia alkatrészeket kínál, amelyeket kifejezetten a szakaszos diffúziós és LPCVD követelményekhez terveztek, beleértve:
• Terelők és tartók
• Injektorok
• Bélések és technológiai csövek
• Szilícium-karbid konzolos lapátok
• Ostyahajók és talapzatok
SiC konzolos lapát SiC folyamatcsövek Szilícium-karbid technológiai cső SiC függőleges ostyahajó SiC vízszintes ostyahajó SiC horizontals quare ostyahajó SiC LPCVD ostyahajó SiC vízszintes lemezes hajó SiC kerek ostyahajó
Minimalizálja a szennyeződést és a nem tervezett karbantartást a nagy tisztaságú alkatrészekkel, amelyeket a plazmamarás feldolgozási nehézségeihez terveztek, beleértve:
Fókusz gyűrűk
Fúvókák
Pajzsok
Zuhanyfejek
Ablakok / Fedők
Egyéb egyedi alkatrészek
A VeTek Semiconductor fejlett anyagkomponenseket kínál a félvezetőipar magas hőmérsékletű hőfeldolgozási alkalmazásaihoz. Ezek az alkalmazások magukban foglalják az RTP-t, az Epi-eljárásokat, a diffúziót, az oxidációt és az izzítást. Műszaki kerámiáinkat úgy tervezték, hogy ellenálljanak a hősokkoknak, megbízható és egyenletes teljesítményt nyújtva. A VeTek Semiconductor alkatrészeivel a félvezetőgyártók hatékony és jó minőségű hőfeldolgozást érhetnek el, hozzájárulva a félvezetőgyártás általános sikeréhez.
• Diffúzorok
• Szigetelők
• Szuszceptorok
• Egyéb egyedi termikus alkatrészek
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC / SiC tartalom | > 99,96% |
Si / Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Testsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600 MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |
A VeTek Semiconductor a nagy tisztaságú SiC konzolos lapát vezető gyártója és megújítója Kínában. A nagy tisztaságú szilícium-karbid konzolos lapátokat általában félvezető diffúziós kemencékben használják szeletátvivő vagy töltőplatformként. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseMint egy professzionális függőleges oszlopos ostyahajó és talapzat gyártó és szállító Kínában, a Vetek Semiconductor függőleges oszlopos ostyahajó és talapzata nagy tisztaságú kvarc vagy szilícium-karbon kerámia (SiC) anyagokból készül, kiváló magas hőmérséklet-állósággal, kémiai stabilitással és mechanikai szilárdsággal. , és a félvezető gyártási folyamat nélkülözhetetlen központi eleme. Üdvözöljük további konzultációján.
Olvass továbbKérdés küldéseA Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat egy fejlett berendezés a félvezetők feldolgozásához. A Contiguous Wafer Boat termékszerkezetét gondosan tervezték, hogy biztosítsa a precíziós ostyák hatékony feldolgozását és gyártását. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló technológiát és termékmegoldásokat kínáljon a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy professzionális kínai gyártó a Silicon On Insulator Wafer, az ALD Planetary Base és a TaC Coated Graphite Base termékekben. A VeTek Semiconductor Silicon On Insulator Wafer fontos félvezető hordozóanyag, és kiváló termékjellemzői miatt kulcsszerepet játszik a nagy teljesítményű, alacsony fogyasztású, nagy integrációjú és RF alkalmazásokban. Várjuk a további együttműködést Önnel.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor a TaC bevonatú vezetőgyűrű, vízszintes SiC lapkahordozó és SiC bevonatú szuszceptorok professzionális gyártója és szállítója Kínában. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy tökéletes műszaki támogatást és végső termékmegoldásokat nyújtsunk a félvezetőipar számára. Üdvözöljük, lépjen velünk kapcsolatba.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor SiC Wafer Boat egy nagyon nagy teljesítményű termék. SiC Wafer Boat-unkat általában félvezető oxidációs diffúziós kemencékben használják, hogy biztosítsák a hőmérséklet egyenletes eloszlását az ostyán, és javítsák a szilícium lapka feldolgozási minőségét. A SiC anyagok magas hőmérsékleti stabilitása és nagy hővezető képessége hatékony és megbízható félvezető feldolgozást biztosít. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy minőségi termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése