A VeTek Semiconductor az Ön innovatív partnere a félvezető-feldolgozás területén. Félvezető minőségű szilícium-karbid kerámia anyagkombinációk, alkatrészgyártási képességeink és alkalmazásmérnöki szolgáltatásaink kiterjedt portfóliójával jelentős kihívások leküzdésében tudunk segíteni. A mérnöki műszaki szilícium-karbid kerámiákat rendkívüli anyagteljesítményük miatt széles körben alkalmazzák a félvezetőiparban. A VeTek Semiconductor ultra-tiszta szilícium-karbid kerámiáját gyakran használják a félvezetőgyártás és -feldolgozás teljes ciklusa során.
A VeTek Semiconductor tervezett kerámia alkatrészeket kínál, amelyeket kifejezetten a szakaszos diffúziós és LPCVD követelményekhez terveztek, beleértve:
• Terelők és tartók
• Injektorok
• Bélések és technológiai csövek
• Szilícium-karbid konzolos lapátok
• Ostyahajók és talapzatok
SiC konzolos lapát SiC folyamatcsövek Szilícium-karbid technológiai cső SiC függőleges ostyahajó SiC vízszintes ostyahajó SiC horizontals quare ostyahajó SiC LPCVD ostyahajó SiC vízszintes lemezes hajó SiC kerek ostyahajó
Minimalizálja a szennyeződést és a nem tervezett karbantartást a nagy tisztaságú alkatrészekkel, amelyeket a plazmamarás feldolgozási nehézségeihez terveztek, beleértve:
Fókusz gyűrűk
Fúvókák
Pajzsok
Zuhanyfejek
Ablakok / Fedők
Egyéb egyedi alkatrészek
A VeTek Semiconductor fejlett anyagkomponenseket kínál a félvezetőipar magas hőmérsékletű hőfeldolgozási alkalmazásaihoz. Ezek az alkalmazások magukban foglalják az RTP-t, az Epi-eljárásokat, a diffúziót, az oxidációt és az izzítást. Műszaki kerámiáinkat úgy tervezték, hogy ellenálljanak a hősokkoknak, megbízható és egyenletes teljesítményt nyújtva. A VeTek Semiconductor alkatrészeivel a félvezetőgyártók hatékony és jó minőségű hőfeldolgozást érhetnek el, hozzájárulva a félvezetőgyártás általános sikeréhez.
• Diffúzorok
• Szigetelők
• Szuszceptorok
• Egyéb egyedi termikus alkatrészek
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC / SiC tartalom | > 99,96% |
Si / Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Testsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600 MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |
A VeTek Semiconductor nagy teljesítményű SiC folyamatcsöveket biztosít a félvezetőgyártáshoz. SiC technológiai csöveink kiválóak az oxidációs, diffúziós folyamatokban. Kiváló minőségüknek és kidolgozottságuknak köszönhetően ezek a csövek magas hőmérsékleti stabilitást és hővezető képességet biztosítanak a hatékony félvezető-feldolgozás érdekében. Versenyképes árat kínálunk, és arra törekszünk, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor SiC konzolos lapátja nagyon nagy teljesítményű termék. A SiC konzolos lapátunkat általában hőkezelő kemencékben használják szilícium lapkák kezelésére és alátámasztására, kémiai gőzleválasztásra (CVD) és más feldolgozási folyamatokra a félvezető gyártási folyamatokban. A SiC anyag magas hőmérsékleti stabilitása és magas hővezető képessége nagy hatékonyságot és megbízhatóságot biztosít a félvezető feldolgozási folyamatban. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor professzionális gyártója és szállítója Kínában a szilícium-karbid ostyahajó vízszintes kemencéhez, több éves tapasztalattal rendelkezik a K+F és a gyártás területén, jól tudja ellenőrizni a minőséget és versenyképes árat kínál. Biztos lehet benne, hogy megvásárolja tőlünk a szilícium-karbid ostyahajót vízszintes kemencéhez.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor professzionális gyártója és beszállítója Kínában a SiC bevonatú szilícium-karbid ostyahajókhoz, több éves tapasztalattal rendelkezik a K+F és gyártás területén, jól tudja ellenőrizni a minőséget és versenyképes árat kínál. Üdvözöljük, hogy meglátogassa gyárunkat, és további megbeszéléseket folytasson az együttműködésről.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor szilícium-karbid konzolos lapátja fontos eleme a félvezetőgyártási folyamatnak, különösen alkalmas diffúziós kemencékhez vagy LPCVD kemencékhez olyan magas hőmérsékletű folyamatokban, mint a diffúzió és az RTP. A szilícium-karbid konzolos lapátunkat gondosan megterveztük és gyártjuk, kiváló magas hőmérsékleti ellenállással és mechanikai szilárdsággal, és biztonságosan és megbízhatóan szállítja az ostyákat a folyamatcsőbe zord folyamatkörülmények között különféle magas hőmérsékletű folyamatokhoz, például diffúzióhoz és RTP-hez. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier fontos alkotóeleme a félvezető feldolgozásnak, amelyet arra terveztek, hogy biztonságosan tartsa és szállítsa a kényes szilícium lapkákat, és kulcsszerepet játszik a gyártás minden szakaszában. A VeTek Semiconductor nagy tisztaságú szilícium-karbid szelethordozóját gondosan tervezték és gyártották, hogy biztosítsák a kiváló teljesítményt és megbízhatóságot. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése