A VeTek Semiconductor az Ön innovatív partnere a félvezető-feldolgozás területén. Félvezető minőségű szilícium-karbid kerámia anyagkombinációk, alkatrészgyártási képességeink és alkalmazásmérnöki szolgáltatásaink kiterjedt portfóliójával jelentős kihívások leküzdésében tudunk segíteni. A mérnöki műszaki szilícium-karbid kerámiákat rendkívüli anyagteljesítményük miatt széles körben alkalmazzák a félvezetőiparban. A VeTek Semiconductor ultra-tiszta szilícium-karbid kerámiáját gyakran használják a félvezetőgyártás és -feldolgozás teljes ciklusa során.
A VeTek Semiconductor tervezett kerámia alkatrészeket kínál, amelyeket kifejezetten a szakaszos diffúziós és LPCVD követelményekhez terveztek, beleértve:
• Terelők és tartók
• Injektorok
• Bélések és technológiai csövek
• Szilícium-karbid konzolos lapátok
• Ostyahajók és talapzatok
SiC konzolos lapát SiC folyamatcsövek Szilícium-karbid technológiai cső SiC függőleges ostyahajó SiC vízszintes ostyahajó SiC horizontals quare ostyahajó SiC LPCVD ostyahajó SiC vízszintes lemezes hajó SiC kerek ostyahajó
Minimalizálja a szennyeződést és a nem tervezett karbantartást a nagy tisztaságú alkatrészekkel, amelyeket a plazmamarás feldolgozási nehézségeihez terveztek, beleértve:
Fókusz gyűrűk
Fúvókák
Pajzsok
Zuhanyfejek
Ablakok / Fedők
Egyéb egyedi alkatrészek
A VeTek Semiconductor fejlett anyagkomponenseket kínál a félvezetőipar magas hőmérsékletű hőfeldolgozási alkalmazásaihoz. Ezek az alkalmazások magukban foglalják az RTP-t, az Epi-eljárásokat, a diffúziót, az oxidációt és az izzítást. Műszaki kerámiáinkat úgy tervezték, hogy ellenálljanak a hősokkoknak, megbízható és egyenletes teljesítményt nyújtva. A VeTek Semiconductor alkatrészeivel a félvezetőgyártók hatékony és jó minőségű hőfeldolgozást érhetnek el, hozzájárulva a félvezetőgyártás általános sikeréhez.
• Diffúzorok
• Szigetelők
• Szuszceptorok
• Egyéb egyedi termikus alkatrészek
Az újrakristályosított szilícium-karbid fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Üzemi hőmérséklet (°C) | 1600°C (oxigénnel), 1700°C (redukáló környezet) |
SiC / SiC tartalom | > 99,96% |
Si / Ingyenes Si tartalom | < 0,1% |
Testsűrűség | 2,60-2,70 g/cm3 |
Látszólagos porozitás | < 16% |
Nyomószilárdság | > 600 MPa |
Hideg hajlítószilárdság | 80-90 MPa (20°C) |
Meleg hajlítószilárdság | 90-100 MPa (1400°C) |
Hőtágulás 1500°C-on | 4,70 10-6/°C |
Hővezetőképesség @1200°C | 23 W/m•K |
Rugalmassági modulus | 240 GPa |
Hőütésállóság | Rendkívül jó |
A VeTek Semiconductor nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyacsónakja rendkívül tiszta szilícium-karbid anyagból készül, kiváló termikus stabilitással, mechanikai szilárdsággal és vegyszerállósággal. A nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyahajót forró zónás alkalmazásokban használják a félvezetőgyártásban, különösen magas hőmérsékletű környezetben, és fontos szerepet játszik az ostyák védelmében, az anyagok szállításában és a stabil folyamatok fenntartásában. A VeTek Semiconductor továbbra is keményen dolgozik a nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyahajó innovációján és teljesítményének javításán, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás változó igényeinek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy professzionális gyártó és beszállító, aki elkötelezett a kiváló minőségű ultratiszta szilícium-karbid por kristálynövekedéséhez. Akár 99,999 tömegszázalékos tisztaságú, valamint rendkívül alacsony nitrogén-, bór-, alumínium- és egyéb szennyezőanyagok szennyeződése miatt kifejezetten a nagy tisztaságú szilícium-karbid félszigetelő tulajdonságainak javítására készült. Üdvözöljük, érdeklődjön és működjön együtt velünk!
Olvass továbbKérdés küldése