CVD SiC bevonat Epitaxy szuszceptor

A VeTek Semiconductor CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor egy precíziós tervezésű eszköz, amelyet félvezető lapkák kezelésére és feldolgozására terveztek. Ez a SiC Coating Epitaxy Susceptor létfontosságú szerepet játszik a vékony filmek, epilayerek és egyéb bevonatok növekedésének elősegítésében, és pontosan tudja szabályozni a hőmérsékletet és az anyagtulajdonságokat. Üdvözöljük további kérdéseit.

Kérdés küldése

termékleírás

A CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor egyfajtaMOCVD LED Epi szuszceptor, amely központi szerepet játszik a CVD reaktorban. Epi Susceptorként nemcsak hőforrás, hanem stabil támasztófelületet is biztosít a szubsztrátum számára a leválasztási folyamat során.SiC bevonathatékonyan csökkentheti a Graphite Susceptor oxidációját és szennyeződését magas hőmérsékletű környezetben, ezáltal biztosítva a lerakott anyag nagy tisztaságát.

AlapvetőA CVD SiC bevonat fizikai tulajdonságai:

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan	Tipikus érték
Kristályszerkezet	FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség	3,21 g/cm³
Keménység	2500 Vickers keménység (500g terhelés)
Szemcseméret	2~10μm
Kémiai tisztaság	99,99995%
Hőkapacitás	640 J·kg^-1·K^-1
Szublimációs hőmérséklet	2700 ℃
Hajlító szilárdság	415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus	430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezetőképesség	300W·m^-1·K^-1
Hőtágulás (CTE)	4,5×10^-6K^-1

A CVD SiC bevonat Epitaxy Susceptor termék előnyei:

● Precíz lerakás: A CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor segítségével a vékony filmek és bevonatok precízen szabályozott lerakódását érheti el, hogy kiváló minőségű és megismételhető eredményeket érjen el.

● Csökkentett szennyeződés: A SiC bevonat minimálisra csökkenti a szennyeződés kockázatátEpi Suceptoralapú Grafit, biztosítva a lerakott anyag tisztaságát.

● Tartósság: A SiC bevonat növeli a Graphite Epitaxy Susceptor oxidáció- és kémiai korrózióállóságát, így hosszabb élettartamot és nagyobb megbízhatóságot biztosít.

A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű termékeket és versenyképes árakat biztosítson. Akár azHa az EPI Receivervagy nagy tisztaságú grafit EPI szuszceptor, meg tudjuk elégíteni az Ön igényeit. Alig várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.

VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Termékboltok: