Az oxidációs és diffúziós kemencéket különféle területeken használják, például félvezető eszközök, különálló eszközök, optoelektronikai eszközök, teljesítményelektronikai eszközök, napelemek és nagyléptékű integrált áramkörök gyártása. Ezeket olyan folyamatokhoz használják, mint például a diffúzió, az oxidáció, az izzítás, az ötvözés és az ostyák szinterelése.
A VeTek Semiconductor vezető gyártó, amely nagy tisztaságú grafit, szilícium-karbid és kvarc alkatrészek gyártására szakosodott oxidációs és diffúziós kemencékben. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű kemenceelemeket biztosítsunk a félvezető- és fotovoltaikus ipar számára, és élen járunk a felületbevonat-technológiában, mint például a CVD-SiC, CVD-TaC, pirokarbon stb.
Magas hőmérsékletállóság (1600 ℃-ig)
Kiváló hővezető képesség és hőstabilitás
Jó kémiai korrózióállóság
Alacsony hőtágulási együttható
Nagy szilárdság és keménység
Hosszú élettartam
Az oxidációs és diffúziós kemencékben a magas hőmérséklet és a korrozív gázok jelenléte miatt számos komponens magas hőmérsékletű és korrózióálló anyagok használatát teszi szükségessé, amelyek közül a szilícium-karbid (SiC) az általánosan használt választás. A következők az oxidációs és diffúziós kemencékben előforduló általános szilícium-karbid komponensek:
Ostyahajó
A szilícium-karbid ostyahajó szilícium ostyák szállítására használt tartály, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és nem lép reakcióba a szilícium ostyákkal.
Kemence cső
A kemencecső a diffúziós kemence központi eleme, amelyet szilíciumlapkák elhelyezésére és a reakciókörnyezet szabályozására használnak. A szilícium-karbid kemencecsövek kiváló magas hőmérsékleten és korrózióállósággal rendelkeznek.
Terelőlemez
A légáramlás és a hőmérséklet-eloszlás szabályozására szolgál a kemencében
Hőelem védőcső
A hőmérsékletmérő hőelemek védelmére szolgál a korrozív gázokkal való közvetlen érintkezéstől.
Konzolos lapát
A szilícium-karbid konzolos lapátok ellenállnak a magas hőmérsékletnek és a korróziónak, és szilícium csónakokat vagy szilíciumlapátokat szállító kvarccsónakokat a diffúziós kemence csöveibe szállítanak.
Gáz befecskendező
A reakciógáznak a kemencébe történő bevezetésére használják, ellenállónak kell lennie a magas hőmérséklettel és a korrózióval szemben.
Csónakszállító
A szilícium-karbid ostyatartó a szilícium ostyák rögzítésére és alátámasztására szolgál, amelyeknek olyan előnyei vannak, mint a nagy szilárdság, a korrózióállóság és a jó szerkezeti stabilitás.
Kemenceajtó
Szilícium-karbid bevonatok vagy alkatrészek a kemenceajtó belső oldalán is használhatók.
Fűtőelem
A szilícium-karbid fűtőelemek alkalmasak magas hőmérsékletre, nagy teljesítményre, és gyorsan 1000 ℃ fölé emelhetik a hőmérsékletet.
SiC Bélés
A kemencecsövek belső falának védelmére használják, így csökkentheti a hőenergia-veszteséget, és ellenáll az olyan zord környezeteknek, mint a magas hőmérséklet és a magas nyomás.
A VeTek Semiconductor SiC konzolos lapátja nagyon nagy teljesítményű termék. A SiC konzolos lapátunkat általában hőkezelő kemencékben használják szilícium lapkák kezelésére és alátámasztására, kémiai gőzleválasztásra (CVD) és más feldolgozási folyamatokra a félvezető gyártási folyamatokban. A SiC anyag magas hőmérsékleti stabilitása és magas hővezető képessége nagy hatékonyságot és megbízhatóságot biztosít a félvezető feldolgozási folyamatban. Elkötelezettek vagyunk amellett, hogy kiváló minőségű termékeket kínáljunk versenyképes áron, és már nagyon várjuk, hogy hosszú távú partnerei lehessünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor professzionális gyártója és szállítója Kínában a szilícium-karbid ostyahajó vízszintes kemencéhez, több éves tapasztalattal rendelkezik a K+F és a gyártás területén, jól tudja ellenőrizni a minőséget és versenyképes árat kínál. Biztos lehet benne, hogy megvásárolja tőlünk a szilícium-karbid ostyahajót vízszintes kemencéhez.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor professzionális gyártója és beszállítója Kínában a SiC bevonatú szilícium-karbid ostyahajókhoz, több éves tapasztalattal rendelkezik a K+F és gyártás területén, jól tudja ellenőrizni a minőséget és versenyképes árat kínál. Üdvözöljük, hogy meglátogassa gyárunkat, és további megbeszéléseket folytasson az együttműködésről.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor szilícium-karbid konzolos lapátja fontos eleme a félvezetőgyártási folyamatnak, különösen alkalmas diffúziós kemencékhez vagy LPCVD kemencékhez olyan magas hőmérsékletű folyamatokban, mint a diffúzió és az RTP. A szilícium-karbid konzolos lapátunkat gondosan megterveztük és gyártjuk, kiváló magas hőmérsékleti ellenállással és mechanikai szilárdsággal, és biztonságosan és megbízhatóan szállítja az ostyákat a folyamatcsőbe zord folyamatkörülmények között különféle magas hőmérsékletű folyamatokhoz, például diffúzióhoz és RTP-hez. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier fontos alkotóeleme a félvezető feldolgozásnak, amelyet arra terveztek, hogy biztonságosan tartsa és szállítsa a kényes szilícium lapkákat, és kulcsszerepet játszik a gyártás minden szakaszában. A VeTek Semiconductor nagy tisztaságú szilícium-karbid szelethordozóját gondosan tervezték és gyártották, hogy biztosítsák a kiváló teljesítményt és megbízhatóságot. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy minőségi termékeket kínáljon versenyképes áron, és reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyacsónakja rendkívül tiszta szilícium-karbid anyagból készül, kiváló termikus stabilitással, mechanikai szilárdsággal és vegyszerállósággal. A nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyahajót forró zónás alkalmazásokban használják a félvezetőgyártásban, különösen magas hőmérsékletű környezetben, és fontos szerepet játszik az ostyák védelmében, az anyagok szállításában és a stabil folyamatok fenntartásában. A VeTek Semiconductor továbbra is keményen dolgozik a nagy tisztaságú szilícium-karbid ostyahajó innovációján és teljesítményének javításán, hogy megfeleljen a félvezetőgyártás változó igényeinek. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.
Olvass továbbKérdés küldése