A VeTek Semiconductor ultratiszta szilícium-karbid bevonat termékek gyártására specializálódott, ezeket a bevonatokat tisztított grafiton, kerámián és tűzálló fém alkatrészeken való felhordásra tervezték.
Nagy tisztaságú bevonataink elsősorban a félvezető- és elektronikai iparban való használatra készültek. Védőrétegként szolgálnak az ostyahordozók, szuszceptorok és fűtőelemek számára, megóvva őket a korrozív és reaktív környezetektől, amelyek olyan folyamatokban fordulnak elő, mint a MOCVD és az EPI. Ezek a folyamatok az ostyafeldolgozás és az eszközgyártás szerves részét képezik. Ezenkívül bevonataink jól alkalmazhatók vákuumkemencékben és mintamelegítésben, ahol nagy vákuum, reaktív és oxigén környezettel találkozhatunk.
A VeTek Semiconductornál átfogó megoldást kínálunk fejlett gépműhelyi képességeinkkel. Ez lehetővé teszi számunkra, hogy az alapelemeket grafitból, kerámiából vagy tűzálló fémekből állítsuk elő, és házon belül vigyük fel a SiC vagy TaC kerámiabevonatokat. Az ügyfelek által szállított alkatrészekhez bevonási szolgáltatásokat is nyújtunk, biztosítva a rugalmasságot a különféle igények kielégítésére.
Szilícium-karbid bevonat termékeinket széles körben használják Si-epitaxiában, SiC-epitaxiában, MOCVD-rendszerben, RTP/RTA-folyamatban, maratási folyamatban, ICP/PSS-maratási folyamatban, különféle LED-típusok folyamatában, beleértve a kék és zöld LED-eket, az UV LED-eket és a mély-UV-t. LED stb., amely az LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI és így tovább berendezésekhez van igazítva.
A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai | |
Ingatlan | Tipikus érték |
Kristályszerkezet | FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált |
Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
Keménység | 2500 Vickers keménység (500 g terhelés) |
szemcseméret | 2~10μm |
Kémiai tisztaság | 99,99995% |
Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
Hajlító szilárdság | 415 MPa RT 4 pontos |
Young's Modulus | 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃ |
Hővezetőképesség | 300W·m-1·K-1 |
Hőtágulás (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
A VeTek Semiconductor egy vezető EPI Wafer Lift Pin gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk grafit felületének SiC bevonattal. EPI Wafer Lift Pin-t kínálunk az Epi folyamathoz. Kiváló minőségű és versenyképes áron, üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat Kínában.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor alkatrészmegoldások átfogó készletét kínálja az LPE szilícium epitaxiás reakciókamrákhoz, hosszú élettartamot, stabil minőséget és jobb epitaxiális rétegkibocsátást biztosítva. Termékünk, mint például a SiC Coated Barrel Susceptor pozíció visszajelzést kapott az ügyfelektől. Technikai támogatást is biztosítunk a Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy és még sok más számára. Árakról érdeklődjön bátran.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy olyan gyár, amely egyesíti a precíziós megmunkálást, valamint a félvezető SiC és TaC bevonási képességeket. A hordó típusú Si Epi Susceptor hőmérséklet- és légkör-szabályozási képességeket biztosít, növelve a termelés hatékonyságát a félvezető epitaxiális növekedési folyamatokban. Várom, hogy együttműködési kapcsolatot alakítsunk ki Önnel.
Olvass továbbKérdés küldéseA szilícium-karbid és tantál-karbid bevonatok vezető hazai gyártójaként a VeTek Semiconductor képes precíziós megmunkálást és egyenletes bevonatot biztosítani a SiC Coated Epi Susceptorhoz, hatékonyan szabályozva a bevonat és a termék tisztaságát 5 ppm alatt. A termék élettartama hasonló az SGL élettartamához. Üdvözöljük érdeklődni tőlünk.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy vezető LPE Si Epi szuszceptor készlet gyártó és innovátor Kínában. Sok éve foglalkozunk SiC bevonattal és TaC bevonattal. Kifejezetten LPE PE2061S 4 hüvelykes lapkákhoz tervezett LPE Si Epi szuszceptor készletet kínálunk. A grafitanyag és a SiC bevonat megfelelő aránya jó, az egyenletesség kiváló, az élettartam pedig hosszú, ami javíthatja az epitaxiális rétegnövekedés hozamát az LPE (Liquid Phase Epitaxy) folyamat során. Üdvözöljük, hogy látogassa meg gyárunkat Kína.
Olvass továbbKérdés küldéseA VeTek Semiconductor egy vezető Aixtron G5 MOCVD szuszceptor gyártó és innovátor Kínában. Sok éven át a SiC bevonóanyagokra specializálódtunk. Ez az Aixtron G5 MOCVD Susceptors készlet sokoldalú és hatékony megoldás a félvezetőgyártáshoz optimális méretével, kompatibilitásával és nagy termelékenységével. Üdvözöljük, érdeklődjön tőlünk.
Olvass továbbKérdés küldése