itthon > Termékek > Szilícium-karbid bevonat

Kína Szilícium-karbid bevonat Gyártó, szállító, gyár

A VeTek Semiconductor ultratiszta szilícium-karbid bevonat termékek gyártására specializálódott, ezeket a bevonatokat tisztított grafiton, kerámián és tűzálló fém alkatrészeken való felhordásra tervezték.

Nagy tisztaságú bevonataink elsősorban a félvezető- és elektronikai iparban való használatra készültek. Védőrétegként szolgálnak az ostyahordozók, szuszceptorok és fűtőelemek számára, megóvva őket a korrozív és reaktív környezetektől, amelyek olyan folyamatokban fordulnak elő, mint a MOCVD és az EPI. Ezek a folyamatok az ostyafeldolgozás és az eszközgyártás szerves részét képezik. Ezenkívül bevonataink jól alkalmazhatók vákuumkemencékben és mintamelegítésben, ahol nagy vákuum, reaktív és oxigén környezettel találkozhatunk.

A VeTek Semiconductornál átfogó megoldást kínálunk fejlett gépműhelyi képességeinkkel. Ez lehetővé teszi számunkra, hogy az alapelemeket grafitból, kerámiából vagy tűzálló fémekből állítsuk elő, és házon belül vigyük fel a SiC vagy TaC kerámiabevonatokat. Az ügyfelek által szállított alkatrészekhez bevonási szolgáltatásokat is nyújtunk, biztosítva a rugalmasságot a különféle igények kielégítésére.

Szilícium-karbid bevonat termékeinket széles körben használják Si-epitaxiában, SiC-epitaxiában, MOCVD-rendszerben, RTP/RTA-folyamatban, maratási folyamatban, ICP/PSS-maratási folyamatban, különféle LED-típusok folyamatában, beleértve a kék és zöld LED-eket, az UV LED-eket és a mély-UV-t. LED stb., amely az LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI és így tovább berendezésekhez van igazítva.


A reaktor alkatrészei, amelyeket elkészíthetünk:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


A szilícium-karbid bevonatnak számos egyedi előnye van:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


VeTek félvezető szilícium-karbid bevonat paraméterei:

A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan Tipikus érték
Kristályszerkezet FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség 3,21 g/cm³
Keménység 2500 Vickers keménység (500 g terhelés)
szemcseméret 2~10μm
Kémiai tisztaság 99,99995%
Hőkapacitás 640 J·kg-1·K-1
Szublimációs hőmérséklet 2700 ℃
Hajlító szilárdság 415 MPa RT 4 pontos
Young's Modulus 430 Gpa 4pt kanyar, 1300 ℃
Hővezetőképesség 300W·m-1·K-1
Hőtágulás (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


View as  
 
Szilárd SiC gáz zuhanyfej

Szilárd SiC gáz zuhanyfej

A VeTek Semiconductor a vezető szilárd szilícium-karbid gázzuhanyfej gyártó és innovátor Kínában. Sok éve szakosodunk a félvezető anyagokra. A VeTek Semiconductor Solid SiC gázzuhanyfej több porozitású kialakítása biztosítja, hogy a CVD-folyamat során keletkező hő szétoszlatható legyen. , biztosítva az aljzat egyenletes felmelegedését. Örömmel várjuk, hogy hosszú távon beállíthassuk Önnel Kínában.

Olvass továbbKérdés küldése
Vegyi gőzleválasztási eljárás Szilárd szilícium-karbonát élgyűrű

Vegyi gőzleválasztási eljárás Szilárd szilícium-karbonát élgyűrű

A VeTek Semiconductor a kémiai gőzleválasztási folyamat egyik vezető szilárd szilícium-karbid-gyűrű gyártója és újítója Kínában. Sok éve szakosodunk a félvezető anyagokra. A VeTek Semiconductor szilárd szilícium-karbamid élgyűrű javított maratási egyenletességet és precíz szeletpozícionálást tesz lehetővé, ha elektrosztatikus tokkal együtt használják. konzisztens és megbízható maratási eredményeket biztosítva. Várjuk, hogy hosszú távú partnere lehessünk Kínában.

Olvass továbbKérdés küldése
Szilárd szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

Szilárd szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

A VeTek Semiconductor a vezető szilárd szilícium-karbamid maratású fókuszáló gyűrű gyártója és innovátora Kínában. Sok éve a SiC anyagokra specializálódtunk. A szilárd szilícium-karbidot fókuszáló gyűrű anyagnak választották kiváló termokémiai stabilitása, nagy mechanikai szilárdsága és plazmával szembeni ellenállása miatt. erózió.Bízunk benne, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.

Olvass továbbKérdés küldése
Professzionális Szilícium-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában saját gyárunk van. Ha személyre szabott szolgáltatásokra van szüksége régiója speciális igényeihez, vagy fejlett és tartós Kínában gyártott Szilícium-karbid bevonat terméket szeretne vásárolni, írjon nekünk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept