TaC bevonatú gyűrű

A VeTeksemi TaC Coated Ring egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet a félvezetőgyártási folyamatokhoz szabtak. Egyedi tervezésű tantál-karbid (TaC) bevonata kiváló magas hőmérséklet-állóságot, korrózióállóságot és mechanikai stabilitást biztosít a terméknek, jelentősen javítva a félvezető berendezésekben lévő grafit alkatrészek élettartamát és megbízhatóságát.

A tantál-karbid bevonatok kiváló teljesítménye:

●   Ultramagas hőmérsékletállóság: A TaC bevonatok könnyen ellenállnak akár 2200°C-os szélsőséges hőmérsékleteknek, és stabilak maradnak a félvezetőgyártásban szokásos hősokk-környezetben.

●   Kiváló kémiai stabilitás: A bevonat erősen ellenáll az olyan gyakori korrozív gázoknak, mint a hidrogén, az ammónia, a szilán és a szilícium, így hatékonyan védi az aljzatot a kémiai támadásoktól.

●   Kiváló mechanikai tulajdonságok: A TaC bevonat nagy keménységgel, nagy kopásállósággal és jó hősokkállósággal rendelkezik, és hosszú ideig stabilan működik kemény munkakörülmények között.

●   Kiváló tapadás: A bevonat szorosan kötődik a grafit hordozóhoz, hatékonyan megakadályozva a bevonat leválását, és egyenletes teljesítményt biztosít a termék teljes élettartama alatt.

●   Nagy tisztaság: A CVD által készített TaC bevonat rendkívül nagy tisztaságú, ami minimálisra csökkenti a szennyeződések bejutását, és tiszta folyamatkörnyezetet biztosít a félvezetőgyártáshoz.

A tantál-karbid bevonatú gyűrűk előnyei:

●   A berendezés hosszabb élettartama: A TaC bevonat hatékonyan blokkolja a kémiai reakciókat és a szennyeződések diffúzióját, jelentősen meghosszabbítva a grafit alkatrészek élettartamát és csökkentve a karbantartási költségeket.

●   A termelés hatékonyságának javítása: A termék magas hőmérséklet- és korrózióállósága lehetővé teszi, hogy igényesebb körülmények között is működjön, lerövidítve a gyártási ciklust és növelve a gyártási kapacitást.

●   Jobb termékminőség: A nagy tisztaságú TaC bevonat segít csökkenteni a szennyeződést, biztosítva a félvezető termékek minőségét és konzisztenciáját.

A VeTek Semiconductor olyan TaC bevonat termékekre specializálódott, mint plTaC bevonatú tokmány, TaC bevonat forgólap, TaC bevonat vállalkozó, TaC bevonatú ostya szuszceptorsok éven át. TaC bevonatú gyűrűs termékeink a berendezés élettartamának meghosszabbítása, a jobb termelési hatékonyság és a termékminőség javítása. Ugyanakkor a VeTek Semiconductor régóta elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnere leszünk Kínában.

Tantál-karbid bevonatú gyűrűk üzletei: