TaC bevonatú ostya szuszceptor

Az eTek Semiconductor TaC Coated Wafer Susceptor egy tantál-karbiddal bevont grafittálca a szilícium-karbid epitaxiális növekedéséhez, a lapka minőségének és teljesítményének javítása érdekében. A VeTek-et fejlett bevonattechnológiája és tartós megoldásai miatt választották ki, amelyek kiváló SiC epitaxiás eredményeket és meghosszabbított szuszceptor élettartamot biztosítanak. Várjuk további kérdéseit.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconductor TaC bevonatú ostya szuszceptor kulcsfontosságú alkatrész, amelyet a készülékben használnakFém-szerves kémiai gőzleválasztás (MOCVD)reaktorok számárafélvezető epitaxiális (epi) folyamatok. Ez a speciális kerek alap kiváló minőségű grafitból készül, és tantál-karbid (TaC) réteggel van bevonva, amely kivételes hő- és kémiai tulajdonságairól jól ismert.

A TaC bevonat elsődleges funkciója az ostya szuszceptor teljesítményének és tartósságának javítása a félvezetőgyártás zord körülményei között. A tantál-karbid keménységéről, magas olvadáspontjáról és kiemelkedő kopásállóságáról híres, így ideális védőréteg. Ez a bevonat megvédi az alatta lévő grafit alapot a korrozív kémiai reakcióktól és a mechanikai feszültségektől, amelyekMOCVD reaktorok, meghosszabbítja a berendezés élettartamát és javítja a megbízhatóságot.

A félvezető anyagok epitaxiális növekedése során a TaC bevonatú ostya szuszceptor létfontosságú szerepet játszik a precíz filmlerakódás biztosításával. Magas hőmérséklettel és kemény vegyi környezettel szembeni ellenállása kritikus fontosságú a félvezető eszközök pontos előállításához, lehetővé téve a berendezés stabil működését igényes folyamatkörülmények között.

A kombináció agrafit magésTaC bevonatbiztosítja az egyenletes hőeloszlást a szuszceptoron, ami elengedhetetlen a MOCVD folyamat során növesztett félvezető rétegek ismételhetőségének és minőségének javításához. Ez a fejlett anyagkialakítás nemcsak tartósságot biztosít, hanem megfelel a modern félvezetőgyártás szigorú követelményeinek is a nagy teljesítményű elektronikai alkatrészekre vonatkozóan.

A TaC bevonatú wafer szuszceptorok vezető szállítójaként és gyártójaként a VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű műszaki megoldásokat szállítson a félvezetőipar számára. Bízunk benne, hogy hosszú távú megbízható partnere lehetünk Kínában, megbízható, testreszabott termékeket kínálva.

VeTek Semiconductor TaC bevonatú ostya szuszceptor boltok:

TaC coated wafer susceptor shops