VEECO MOCVD fűtőtest

A VeTeksemi VEECO MOCVD fűtőberendezése nagy tisztaságú grafitanyagból készül, amelynek szennyeződéstartalma szigorúan 5 ppm alatt van szabályozva, és ultra-nagy tisztaságú szilícium-karbiddal (SiC) van bevonva, amelynek tisztasága meghaladja a 99,99995%-ot.kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárás. Ez az anyagkombináció olyan kulcsfontosságú tulajdonságokat ad a fűtőberendezésnek, amelyek biztosítják annak kiváló teljesítményétfém szerves kémiai gőzleválasztás (MOCVD)folyamat.

A VEECO MOCVD fűtőberendezés egyik kiemelkedő tulajdonsága a rendkívüli kémiai tisztaság. A nagy tisztaságú grafit mag nagymértékben csökkenti a szennyeződések lehetséges bejutását a magas hőmérsékletű folyamatokba, így biztosítva az ultra-tiszta filmleválasztási folyamatot. ACVD SiC bevonattovábbi védelmet nyújt a fűtőelemnek, erős gátat képezve a kémiai reakciók megelőzésére, amelyek károsíthatják a film minőségét. Ez a páratlan tisztaság elengedhetetlen a nagy teljesítményű, megbízható félvezető eszközök gyártásához.

Ugyanakkor a fűtőberendezés rendkívül magas hőstabilitást és hatékonyságot mutat. A SiC magas olvadásponttal és kiváló hővezető képességgel rendelkezik, amely lehetővé teszi a fűtőelem számára a hő hatékony kezelését és vezetését. Ez egyenletes felmelegedést biztosít a hordozón, ami viszont elősegíti az egyenletes filmlerakódást és csökkenti a termikus gradiens okozta hibákat. Ez a hőhatékonyság különösen fontos a precíziós gyártásnál.

A VEECO MOCVD fűtőberendezés elektromos teljesítményében is jeleskedik. Nagy tisztaságú grafit magja kiváló elektromos vezetőképességgel rendelkezik, amely lehetővé teszi a fűtőelem számára, hogy megbirkózzanak a nagy elektromos terhelési követelményekkel. Ez a stabil elektromos teljesítmény lehetővé teszi, hogy a fűtőberendezés precíz hőmérséklet-szabályozást és leválasztási sebességet tartson fenn nagy terhelési körülmények között, ami kritikus fontosságú az állandó folyamatfeltételek biztosításához és a félvezetőgyártás hatékonyságának javításához.

A fűtőtest felületi kialakítását gondosan optimalizálták, hogy magas szubsztrát emissziós tényezője legyen, ami jelentősen javítja a sugárzó hőátadás hatékonyságát. Az egyenletes felmelegedés kulcsfontosságú tényező az egyenletes filmrétegvastagság és jellemzők biztosításában. A nagy emissziós tényezőjű felületkialakítás javítja a fűtőberendezés általános hőhatékonyságát is, ezáltal csökkenti az energiafogyasztást és az üzemeltetési költségeket.

Ami a tartósságot illeti, a VeTeksemi VEECO MOCVD fűtőberendezése kiváló korrózióállóságot, oxidációállóságot és mechanikai szilárdságot mutat. A CVD SiC bevonat szilárd gátat képez a MOCVD folyamatokban szokásos korrozív gázokkal és vegyi anyagokkal szemben, ezáltal meghosszabbítja a berendezés élettartamát és csökkenti a karbantartási igényeket és a csereköltségeket. Oxidációval szembeni ellenállása biztosítja, hogy a fűtőelem stabil marad magas hőmérsékleten a teljesítmény romlása nélkül, így biztosítva a hosszú távú stabilitást.

Ezenkívül a VeTeksemi MOCVD fűtőberendezésének nagy mechanikai szilárdsága lehetővé teszi, hogy ellenálljon a hőciklus és az aljzatkezelés során keletkező fizikai igénybevételeknek. Robusztussága csökkenti a mechanikai meghibásodások kockázatát, és biztosítja a berendezés megbízható működését kemény folyamatkörülmények között.

A VEECO MOCVD fűtőtermékek fejlett gyártója és szállítójaként a VeTeksemi számos kiváló minőségű fűtőterméket is kínál, mint pl.TaC bevonatfűtő, szilícium-karbid kerámia bevonatú grafit fűtőtest, szilícium-karbid kerámia bevonatú fűtőteststb. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett és testreszabható technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezetőipar számára. Őszintén reméljük, hogy hosszú távú partnere lehetünk Kínában.