TaC bevonatvezető gyűrű

A VeTek Semiconductor TaC bevonatvezető gyűrűjét úgy hozták létre, hogy tantál-karbid bevonatot visznek fel a grafit alkatrészekre a kémiai gőzleválasztásnak (CVD) nevezett rendkívül fejlett technikával. Ez a módszer jól bevált, és kivételes bevonási tulajdonságokat kínál. A TaC Coating Guide Ring használatával a grafit alkatrészek élettartama jelentősen meghosszabbítható, a grafitszennyeződések mozgása elnyomható, a SiC és AIN egykristály minősége pedig megbízhatóan fenntartható. Üdvözöljük érdeklődni tőlünk.

Kérdés küldése

termékleírás

A VeTek Semiconductor egy professzionális kínai TaC bevonatvezető gyűrű, TaC bevonótégely, magtartó gyártó és szállító.

TaC bevonat A tégelyt, a magtartót és a TaC bevonat vezetőgyűrűt SiC és AIN egykristályos kemencében PVT módszerrel termesztettem.

Amikor a fizikai gőzszállítási módszert (PVT) használják a SiC előállítására, a magkristály a viszonylag alacsony hőmérsékletű tartományban, a SiC nyersanyag pedig a viszonylag magas hőmérsékletű tartományban (2400 ℃ felett) található. A nyersanyag lebontása során SiXCy keletkezik (főleg Si, SiC₂, Si2C stb.). A gőzfázisú anyag a magas hőmérsékletű tartományból az alacsony hőmérsékletű tartományban lévő magkristályba kerül, ahol magképződik és növekszik. Egykristály kialakítására. Az ebben a folyamatban használt termikus mező anyagoknak, mint például a tégely, az áramlásvezető gyűrű, az oltókristály-tartó, ellenállniuk kell a magas hőmérsékletnek, és nem szennyezik a SiC nyersanyagokat és a SiC egykristályokat. Hasonlóképpen, az AlN egykristályok növekedésében a fűtőelemeknek ellenállniuk kell az Al-gőznek, az N2-korróziónak, és magas eutektikus hőmérséklettel (és AlN-vel) kell rendelkezniük, hogy lerövidítsék a kristály-előkészítési időszakot.

Megállapítást nyert, hogy a TaC bevonatú grafit termikus mező anyagokkal előállított SiC és AlN tisztábbak, szinte egyáltalán nem tartalmaznak szén- (oxigén, nitrogén) és egyéb szennyeződéseket, kevesebb élhibát, kisebb ellenállást mutatnak az egyes régiókban, valamint a mikropórussűrűség és a maratási gödör sűrűsége. jelentősen csökkent (KOH maratást követően), és a kristály minősége jelentősen javult. Ezenkívül a TaC tégely súlyvesztési aránya közel nulla, megjelenése roncsolásmentes, újrahasznosítható (élettartam akár 200 óra), javíthatja az ilyen egykristály-készítmény fenntarthatóságát és hatékonyságát.

A TaC bevonatvezető gyűrű termékparaméterei:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10-5 Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)